[发明专利]一种水冷板氦检工装

权利要求书

1.一种水冷板氦检工装，其特征在于，包括机架以及设于机架内的操作平台，所述机架安装有抽真空组件以及真空箱，所述机架的一侧还设有氦检组件，所述抽真空组件以及氦检组件分别与真空箱连通；

所述真空箱包括真空箱本体以及密封箱门，所述真空箱本体的上壁通过密封组件与氦检组件连通，所述密封组件通过第一气缸组件驱动，使得所述密封组件与真空箱的上壁密封；其中，所述第一气缸组件的输出轴为空心轴，并且所述输出轴的一端位于所述真空箱本体内，另一端位于所述真空箱本体外部，所述空心轴位于真空箱本体外部的一端通过气管与所述氦检组件连接；

所述密封箱门固定安装在所述操作平台上，所述真空箱本体的开口方向朝下，并且所述真空箱本体通过安装在所述操作平台上的第二气缸组件进行上下移动，所述操作平台上还固定安装有用于对所述第二气缸组件进行支撑的支撑组件；

在水冷板被搬运到到所述真空箱内后，水冷板的充气口到密封组件的密封面之间的距离与所述第一气缸组件的行程一致。

2.根据权利要求1所述的水冷板氦检工装，其特征在于，所述真空箱内还设有用于对所述水冷板进行定位的定位机构。

3.根据权利要求2所述的水冷板氦检工装，其特征在于，所述定位机构包括粗定位机构及精定位机构；

其中，所述粗定位机构包括若干定位块，在若干所述定位块中，其中至少两个定位块呈直线排列，剩余的定位块也呈直线排列，并且两条直线垂直分布；

所述精定位机构包括两个分别固定安装在真空箱本体两个相邻侧壁上的第三气缸组件，使得所述第三气缸组件的输出端与定位块配合，对所述水冷板进行定位。

4.根据权利要求3所述的水冷板氦检工装，其特征在于，所述定位块的底部分别设有调节装置，所述定位块通过所述调节装置来调节定位的位置。

5.根据权利要求4所述的水冷板氦检工装，其特征在于，所述密封组件包括第一密封片以及第二密封片，所述第一密封片固定安装在所述第一气缸组件的输出轴的端部，所述第二密封片固定安装在所述真空箱本体的上壁，并且所述第二密封片的中部设有用于第一气缸组件的输出轴穿过的孔洞。

6.根据权利要求5所述的水冷板氦检工装，其特征在于，所述密封组件在真空箱本体向下移动并密封后，通过所述第一气缸组件驱动对所述水冷板进行密封。