[发明专利]一种用于水平沉铜的离子钯活化液及其制备方法

权利要求书

1.一种用于水平沉铜的离子钯活化液，其特征在于：每升离子钯活化液包括由以下组分：硫酸钯8～12mg，络合剂0.1～1g，表面活性剂10～20mg，pH值调节剂20～25mL，稳定剂7～10mg，聚酰胺-胺树脂-甘氨酸复合物2～3mg，其余为去离子水，所述络合剂为4-二甲氨基吡啶，所述表面活性剂为烷基酚聚氧乙烯醚，所述pH值调节剂为氨水，所述稳定剂为肉桂醛。

2.根据权利要求1所述的一种用于水平沉铜的离子钯活化液，其特征在于：所述聚酰胺-胺树脂-甘氨酸复合物由以下步骤制成：

将代数为G3.0的聚酰胺-胺树脂加入水中搅拌均匀得到聚酰胺-胺树脂溶液，将甘氨酸乙酯加入水中搅拌均匀得到甘氨酸乙酯溶液，将聚酰胺-胺树脂溶液、甘氨酸乙酯溶液、戊二醛混合，升温至50℃搅拌反应24小时得到反应液，将反应液用透析袋透析后冷冻干燥2小时得到聚酰胺-胺树脂-甘氨酸复合物。

3.根据权利要求2所述的一种用于水平沉铜的离子钯活化液，其特征在于：所述聚酰胺-胺树脂-甘氨酸复合物的制备步骤中，聚酰胺-胺树脂的质量浓度为20％，甘氨酸乙酯的质量浓度为4％，聚酰胺-胺树脂溶液、甘氨酸乙酯溶液、戊二醛的质量比为1:0.2:0.1；透析袋的截留分子量为12000，冷冻干燥时的温度为-4℃。

4.根据权利要求1～3任意一项所述的一种用于水平沉铜的离子钯活化液的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

将硫酸钯、pH值调节剂、去离子水混合，搅拌1-2小时后加入络合剂、稳定剂、聚酰胺-胺树脂-甘氨酸复合物，继续搅拌1-2小时后加入表面活性剂，继续搅拌2-3小时后静置12-24小时得到离子钯活化液。