[发明专利]一种水平移动限位的离子注入用检测装置

权利要求书

1.一种水平移动限位的离子注入用检测装置，其特征在于：包括扫描盘(10)；扫描盘(10)的外圆柱面上成型有若干圆周均匀分布的支撑底座(11)；支撑底座(11)的内侧端中部成型有左右贯穿的限位插孔(110)、外侧端成型有成型有左右贯穿的径向移动槽(112)；径向移动槽(112)的内侧端成型为半圆柱槽状；径向移动槽(112)径向移动设置有外限位板(114)；外限位板(114)的内侧端成型有左右贯穿的半圆柱槽状的外压槽(1140)；当外限位板(114)处于最内侧端，径向移动槽(112)的内侧端与外压槽(1140)组成一个完整的圆柱槽并且此圆柱槽供法拉第杯(20)左右插设；限位插孔(110)的外侧壁成型有径向贯穿的矩形的径向导槽(111)；径向导槽(111)的外侧端与径向移动槽(112)的内侧端连通；径向导槽(111)内径向弹性伸缩设置有长方体状的内顶杆(12)；内顶杆(12)的内侧端成型有驱动块(121)；扫描盘(10)的左右移动设置有圆环状的限位环(30)；限位环(30)位于支撑底座(11)的右侧；限位环(30)的左端面上成型有若干圆周均匀分布的顶杆驱动块(31)；顶杆驱动块(31)的左端外侧成型为自左向右倾斜向外设置的倾斜面；顶杆驱动块(31)左右移动设置在相应侧的限位插孔(110)内；当限位环(30)处于最左端时，内顶杆(12)的抵靠住法拉第杯(20)的内侧端。

2.根据权利要求1所述的一种水平移动限位的离子注入用检测装置，其特征在于：驱动块(121)呈圆柱状。

3.根据权利要求1所述的一种水平移动限位的离子注入用检测装置，其特征在于：内顶杆(12)上套设有压簧(13)；压簧(13)的外侧端固定在限位插孔(110)的外侧壁、内侧端固定在驱动块(121)上。

4.根据权利要求1所述的一种水平移动限位的离子注入用检测装置，其特征在于：外限位板(114)的外侧端面固定有一对拉簧(14)；拉簧(14)的外侧端固定在径向移动槽(112)的外侧壁上；径向移动槽(112)的外侧壁径向穿过并且螺接有径向限位螺栓(15)。

5.根据权利要求4所述的一种水平移动限位的离子注入用检测装置，其特征在于：径向限位螺栓(15)的内侧端固定有圆形板状的压紧块(151)。

6.根据权利要求1或4所述的一种水平移动限位的离子注入用检测装置，其特征在于：径向移动槽(112)相对的侧壁上成型有移动导向槽(113)；外限位板(114)相应侧端面上分别成型有与移动导向槽(113)配合的移动导向块(1141)。

7.根据权利要求1所述的一种水平移动限位的离子注入用检测装置，其特征在于：限位环(30)上设置有若干圆周均匀分布的左右限位螺栓(32)；左右限位螺栓(32)径向穿过并且螺接在限位环(30)上；扫描盘(10)的外圆柱面上成型有若干圆周均匀的与左右限位螺栓(32)配合的连接螺孔；当左右限位螺栓(32)螺接在连接螺孔内，限位环(30)处于最左端。