[发明专利]一种水平移动限位的离子注入用检测装置

说明书

本发明公开了一种水平移动限位的离子注入用检测装置，径向移动槽的内侧端成型为半圆柱槽状；径向移动槽径向移动设置有外限位板；外限位板的内侧端成型有左右贯穿的半圆柱槽状的外压槽；限位插孔的外侧壁成型有径向贯穿的矩形的径向导槽；径向导槽的外侧端与径向移动槽的内侧端连通；径向导槽内径向弹性伸缩设置有长方体状的内顶杆；内顶杆的内侧端成型有驱动块；扫描盘的左右移动设置有圆环状的限位环；限位环位于支撑底座的右侧；限位环的左端面上成型有若干圆周均匀分布的顶杆驱动块；顶杆驱动块的左端外侧成型为自左向右倾斜向外设置的倾斜面。

技术领域

本发明涉及离子注入的技术领域，具体涉及一种水平移动限位的离子注入用检测装置。

背景技术

现有技术中的离子注入机为了提高工作质量，需要在扫描盘上安装法拉第杯，在离子注入机中设置电流测量机构，法拉第杯所接收到的所述离子束的多少不同，使得转化的电流的大小不同，所述电流测量单元对转化的电流的大小进行检测，从而可以快速判断出离子束与扫描盘相对注入角度的偏离程度并可以将偏离信息及时反馈回控制端进行调整，但是在扫描盘上安装多个法拉第杯，涉及到定期维修保养的困扰，如何实现法拉第杯和扫描盘的快速连接或分解，是个需要解决的问题，为此我们提供了一种离子注入机检测装置。

发明内容

本发明的目的是现在的法拉第杯和扫描盘拆装不便的技术问题，提供了一种水平移动限位的离子注入用检测装置。

本发明解决上述技术问题的技术方案如下：一种水平移动限位的离子注入用检测装置，包括扫描盘；扫描盘的外圆柱面上成型有若干圆周均匀分布的支撑底座；支撑底座的内侧端中部成型有左右贯穿的限位插孔、外侧端成型有成型有左右贯穿的径向移动槽；径向移动槽的内侧端成型为半圆柱槽状；径向移动槽径向移动设置有外限位板；外限位板的内侧端成型有左右贯穿的半圆柱槽状的外压槽；当外限位板处于最内侧端，径向移动槽的内侧端与外压槽组成一个完整的圆柱槽并且此圆柱槽供法拉第杯左右插设；限位插孔的外侧壁成型有径向贯穿的矩形的径向导槽；径向导槽的外侧端与径向移动槽的内侧端连通；径向导槽内径向弹性伸缩设置有长方体状的内顶杆；内顶杆的内侧端成型有驱动块；扫描盘的左右移动设置有圆环状的限位环；限位环位于支撑底座的右侧；限位环的左端面上成型有若干圆周均匀分布的顶杆驱动块；顶杆驱动块的左端外侧成型为自左向右倾斜向外设置的倾斜面；顶杆驱动块左右移动设置在相应侧的限位插孔内；当限位环处于最左端时，内顶杆的抵靠住法拉第杯的内侧端。

作为上述技术方案的优选，驱动块呈圆柱状。

作为上述技术方案的优选，内顶杆上套设有压簧；压簧的外侧端固定在限位插孔的外侧壁、内侧端固定在驱动块上。

作为上述技术方案的优选，外限位板的外侧端面固定有一对拉簧；拉簧的外侧端固定在径向移动槽的外侧壁上；径向移动槽的外侧壁径向穿过并且螺接有径向限位螺栓。

作为上述技术方案的优选，径向限位螺栓的内侧端固定有圆形板状的压紧块。

作为上述技术方案的优选，径向移动槽相对的侧壁上成型有移动导向槽；外限位板相应侧端面上分别成型有与移动导向槽配合的移动导向块。

作为上述技术方案的优选，限位环上设置有若干圆周均匀分布的左右限位螺栓；左右限位螺栓径向穿过并且螺接在限位环上；扫描盘的外圆柱面上成型有若干圆周均匀的与左右限位螺栓配合的连接螺孔；当左右限位螺栓螺接在连接螺孔内，限位环处于最左端。

本发明的有益效果在于：结构简单，法拉第杯可以单独拆装或者批量拆装，拆装方便。

附图说明

图1为本发明的正视的结构示意图；

图2为本发明的图1中A-A的剖面的结构示意图；

图3为本发明的图2中B的局部放大的结构示意图。