[发明专利]一种通用型的晶片盒在审

专利信息
申请号: 202010787095.1 申请日: 2020-08-07
公开(公告)号: CN111916380A 公开(公告)日: 2020-11-10
发明(设计)人: 徐俊 申请(专利权)人: 杭州易正科技有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 代理人: 曹立成
地址: 310000 浙江省杭州市西*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 通用型 晶片
【说明书】:

发明公开了一种通用型的晶片盒,包括底板和罩壳,底板的上端面上成型有矩形的凸台,凸台的上端面上成型有承载座,承载座的上端面上成型有若干道V型的晶片安置槽,承载座的一侧成型有与晶片安置槽相连通的圆弧形的调节槽,调节槽内插接有调节托杆,调节托杆的两端插接固定在连杆上,连杆的下端插接有铰接轴,铰接轴插接固定在底板的凸台内;连杆的侧壁上成型有扇形的支架板,支架板抵靠在罩壳的外壁上成型有圆弧形的导向槽,导向槽内插接有紧固螺钉,紧固螺钉螺接在罩壳上。

技术领域

本发明涉及半导体用装置的技术领域,更具体地说涉及一种通用型的晶片盒。

背景技术

目前的半导体加工设备有光刻设备、刻蚀设备、薄膜设备、离子注入、过程控制、清洗设备、化学机械研磨、测试设备等等。目前常常所说的半导体为硅片,硅片通过一系列生产加工,以圆晶作为中间产物或者成品,而圆晶一般存放在晶片盒内,由于晶片的尺寸不同,在装载、运输和存储晶片的过程中,需要准备不同尺寸的晶片盒。但在实际操作中,根据具体制作晶片的尺寸,更换对应尺寸的晶片盒,这样会降低生产效率,而且需要准备的多种尺寸的晶片盒,同时也会增加生产成本。

发明内容

本发明的目的就是针对现有技术之不足,而提供了一种通用型的晶片盒,其采用的晶片盒可以安插摆放多种规格的圆晶片。

为实现上述目的,本发明采用的技术方案如下:

一种通用型的晶片盒,包括底板和罩壳,底板的上端面上成型有矩形的凸台,凸台的上端面上成型有承载座,罩壳插套在底板的凸台上,承载座插设在罩壳内,承载座的上端面上成型有若干道V型的晶片安置槽,承载座的一侧成型有与晶片安置槽相连通的圆弧形的调节槽,调节槽内插接有调节托杆,调节托杆的两端伸出承载座插接固定在连杆上,连杆的下端插接有铰接轴,铰接轴插接固定在底板的凸台内;所述连杆的侧壁上成型有扇形的支架板,支架板抵靠在罩壳的外壁上成型有圆弧形的导向槽,导向槽内插接有紧固螺钉,紧固螺钉螺接在罩壳上,紧固螺钉的末端插接在承载座上;所述的罩壳上成型有与晶片安置槽相对的插槽。

优选的,所述罩壳上插槽的宽度等于承载座上晶片安置槽的宽度,晶片安置槽或插槽呈线性均匀分布在承载座和罩壳上。

优选的,所述承载座的上端面上成型有V型的槽口。

优选的,所述罩壳的上端面上成型有向内凹陷的弧形盖板。

优选的,所述的底板上成型与连杆下端相对的避让槽口,连杆的下端插接在避让槽口内,承载座上调节槽的圆弧圆心位于铰接轴的中心轴线上,支架板上导向槽的圆弧圆心位于铰接轴的中心轴线上。

优选的,所述罩壳的两侧壁上成型有贯穿罩壳下端面的扇形开口,连杆插接在罩壳的扇形开口内。

优选的,所述连杆的厚度大于支架板的厚度,连杆的外端面和支架板的外端面在同一平面内。

优选的,所述底板上凸台的外侧壁分别抵靠在罩壳的内侧壁上。

本发明的有益效果在于:其所采用的晶片盒上设定有承载座,承载座上开设V型的安置槽,可以安插多种规格的圆晶片,并配合可以分隔圆晶片的罩壳,晶片盒的通用性好,可以安插摆放多种规格的圆晶片。

附图说明

图1为本发明立体的结构示意图;

图2为本发明正视的结构示意图;

图3为本发明侧视的结构示意图;

图4为本发明半剖的结构示意图。

图中:1、底板;11、承载座;12、晶片安置槽;13、调节槽;14、槽口;15、避让槽口;2、罩壳;21、插槽;22、弧形盖板;23、扇形开口;3、铰接轴;4、调节托杆;5、连杆;51、支架板;52、导向槽;6、紧固螺钉。

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