[发明专利]一种通用型的晶片盒在审
申请号: | 202010787095.1 | 申请日: | 2020-08-07 |
公开(公告)号: | CN111916380A | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 徐俊 | 申请(专利权)人: | 杭州易正科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 曹立成 |
地址: | 310000 浙江省杭州市西*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 通用型 晶片 | ||
本发明公开了一种通用型的晶片盒,包括底板和罩壳,底板的上端面上成型有矩形的凸台,凸台的上端面上成型有承载座,承载座的上端面上成型有若干道V型的晶片安置槽,承载座的一侧成型有与晶片安置槽相连通的圆弧形的调节槽,调节槽内插接有调节托杆,调节托杆的两端插接固定在连杆上,连杆的下端插接有铰接轴,铰接轴插接固定在底板的凸台内;连杆的侧壁上成型有扇形的支架板,支架板抵靠在罩壳的外壁上成型有圆弧形的导向槽,导向槽内插接有紧固螺钉,紧固螺钉螺接在罩壳上。
技术领域
本发明涉及半导体用装置的技术领域,更具体地说涉及一种通用型的晶片盒。
背景技术
目前的半导体加工设备有光刻设备、刻蚀设备、薄膜设备、离子注入、过程控制、清洗设备、化学机械研磨、测试设备等等。目前常常所说的半导体为硅片,硅片通过一系列生产加工,以圆晶作为中间产物或者成品,而圆晶一般存放在晶片盒内,由于晶片的尺寸不同,在装载、运输和存储晶片的过程中,需要准备不同尺寸的晶片盒。但在实际操作中,根据具体制作晶片的尺寸,更换对应尺寸的晶片盒,这样会降低生产效率,而且需要准备的多种尺寸的晶片盒,同时也会增加生产成本。
发明内容
本发明的目的就是针对现有技术之不足,而提供了一种通用型的晶片盒,其采用的晶片盒可以安插摆放多种规格的圆晶片。
为实现上述目的,本发明采用的技术方案如下:
一种通用型的晶片盒,包括底板和罩壳,底板的上端面上成型有矩形的凸台,凸台的上端面上成型有承载座,罩壳插套在底板的凸台上,承载座插设在罩壳内,承载座的上端面上成型有若干道V型的晶片安置槽,承载座的一侧成型有与晶片安置槽相连通的圆弧形的调节槽,调节槽内插接有调节托杆,调节托杆的两端伸出承载座插接固定在连杆上,连杆的下端插接有铰接轴,铰接轴插接固定在底板的凸台内;所述连杆的侧壁上成型有扇形的支架板,支架板抵靠在罩壳的外壁上成型有圆弧形的导向槽,导向槽内插接有紧固螺钉,紧固螺钉螺接在罩壳上,紧固螺钉的末端插接在承载座上;所述的罩壳上成型有与晶片安置槽相对的插槽。
优选的,所述罩壳上插槽的宽度等于承载座上晶片安置槽的宽度,晶片安置槽或插槽呈线性均匀分布在承载座和罩壳上。
优选的,所述承载座的上端面上成型有V型的槽口。
优选的,所述罩壳的上端面上成型有向内凹陷的弧形盖板。
优选的,所述的底板上成型与连杆下端相对的避让槽口,连杆的下端插接在避让槽口内,承载座上调节槽的圆弧圆心位于铰接轴的中心轴线上,支架板上导向槽的圆弧圆心位于铰接轴的中心轴线上。
优选的,所述罩壳的两侧壁上成型有贯穿罩壳下端面的扇形开口,连杆插接在罩壳的扇形开口内。
优选的,所述连杆的厚度大于支架板的厚度,连杆的外端面和支架板的外端面在同一平面内。
优选的,所述底板上凸台的外侧壁分别抵靠在罩壳的内侧壁上。
本发明的有益效果在于:其所采用的晶片盒上设定有承载座,承载座上开设V型的安置槽,可以安插多种规格的圆晶片,并配合可以分隔圆晶片的罩壳,晶片盒的通用性好,可以安插摆放多种规格的圆晶片。
附图说明
图1为本发明立体的结构示意图;
图2为本发明正视的结构示意图;
图3为本发明侧视的结构示意图;
图4为本发明半剖的结构示意图。
图中:1、底板;11、承载座;12、晶片安置槽;13、调节槽;14、槽口;15、避让槽口;2、罩壳;21、插槽;22、弧形盖板;23、扇形开口;3、铰接轴;4、调节托杆;5、连杆;51、支架板;52、导向槽;6、紧固螺钉。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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