[发明专利]微型阀

权利要求书

1.一种微型阀，其具有层叠构造，其中，

所述微型阀具备：

基座层，其形成有用于向所述微型阀内导入气体的流入口以及用于使自所述流入口导入的气体向外部流出的流出口；以及

隔膜层，其与所述基座层相对地配置，通过弹性变形而对自所述流入口向所述流出口的气体的流通和切断进行切换，

所述隔膜层具有交替地形成有多个变形区域和多个刚体区域的结构，所述变形区域能够随着气动流体向所述微型阀内流入而弹性变形，

在所述隔膜层中，通过使所述多个变形区域的至少一部分弹性变形而封闭所述流入口以及所述流出口中的至少一者，

所述变形区域和所述刚体区域交替地形成于所述隔膜层的与用于封闭所述流入口以及所述流出口中的至少一者的密封面相反的那一侧。

2.根据权利要求1所述的微型阀，其中，

所述隔膜层由单一的材料成形，所述多个变形区域的层叠方向的厚度比所述多个刚体区域的层叠方向的厚度薄。

3.根据权利要求1或2所述的微型阀，其中，

在自层叠方向俯视所述隔膜层的情况下，所述多个刚体区域的一部分以及所述多个变形区域具有圆环形状，所述多个变形区域以及所述多个刚体区域呈同心圆状交替地形成。

4.根据权利要求1或2所述的微型阀，其中，

所述微型阀还具备覆盖层，

所述隔膜层配置在所述覆盖层与所述基座层之间。

5.根据权利要求4所述的微型阀，其中，

气动流体向所述隔膜层与所述覆盖层之间流入，将所述隔膜层按压于所述基座层，从而封闭所述流入口以及所述流出口中的至少一者。

6.根据权利要求1或2所述的微型阀，其中，

使用硅、玻璃或PEEK树脂来形成所述隔膜层。

7.根据权利要求3所述的微型阀，其中，

所述微型阀还具备覆盖层，

所述隔膜层配置在所述覆盖层与所述基座层之间。

8.根据权利要求7所述的微型阀，其中，

气动流体向所述隔膜层与所述覆盖层之间流入，将所述隔膜层按压于所述基座层，从而封闭所述流入口以及所述流出口中的至少一者。

9.根据权利要求3所述的微型阀，其中，

使用硅、玻璃或PEEK树脂来形成所述隔膜层。

10.根据权利要求4所述的微型阀，其中，

使用硅、玻璃或PEEK树脂来形成所述隔膜层。

11.根据权利要求5所述的微型阀，其中，

使用硅、玻璃或PEEK树脂来形成所述隔膜层。

12.根据权利要求7所述的微型阀，其中，

使用硅、玻璃或PEEK树脂来形成所述隔膜层。

13.根据权利要求8所述的微型阀，其中，

使用硅、玻璃或PEEK树脂来形成所述隔膜层。

14.一种微型阀，其具有层叠构造，其中，

所述微型阀具备：

基座层，其形成有用于向所述微型阀内导入气体的流入口以及用于使自所述流入口导入的气体向外部流出的流出口；以及

隔膜层，其与所述基座层相对地配置，通过弹性变形而对自所述流入口向所述流出口的气体的流通和切断进行切换，

所述隔膜层包含变形区域和刚体区域，所述变形区域能够随着气动流体向所述微型阀内流入而弹性变形，所述刚体区域用于限制所述变形区域的变形量，

所述流入口以及所述流出口中的至少一者会被弹性变形后的所述变形区域覆盖而被封闭，

所述变形区域和所述刚体区域形成于所述隔膜层的与用于封闭所述流入口以及所述流出口中的至少一者的密封面相反的那一侧。