[发明专利]微型阀

说明书

本发明提供一种微型阀。在层叠构造的微型阀中提高异物混入时的密封性。微型阀(10)具有层叠构造，具备基座层(20)和隔膜层(30)。在基座层形成有用于向微型阀内导入气体的流入口(23)以及用于使该气体向外部流出的流出口。隔膜层与基座层相对地配置。隔膜层通过进行弹性变形而对自流入口向流出口的气体的流通和切断进行切换。隔膜层具有交替地形成有多个变形区域(33)和多个刚体区域(34)的结构，所述变形区域(33)能够随着气动流体向微型阀内流入而弹性变形。在隔膜层中，通过使多个变形区域的至少一部分弹性变形从而封闭流入口以及流出口中的至少一者。

技术领域

本发明涉及一种微型阀，更特定而言涉及一种用于提高具有层叠构造的微型阀的密封性的构造。

背景技术

作为能使用于气相色谱仪等分析装置的切换流路用的阀装置，已知有使用能够弹性变形的隔膜来对流体的流通与切断进行切换的微型阀。

在国际公开第2018/235229号(专利文献1)中公开了一种具有隔膜层的层叠构造的微型阀，该隔膜层在移动部的周围形成有变形部。在国际公开第2018/235229号(专利文献1)的微型阀中，通过使控制该阀用的流体(以下也称为“气动流体”。)流入而使隔膜层的变形部弹性变形，从而能够使用移动部来封闭供样品气体通过的流入口以及/或者流出口。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2018/235229号

发明内容

发明要解决的问题

在国际公开第2018/235229号(专利文献1)的微型阀的结构中，通过使形成隔膜层的材料(例如硅)的厚度局部性地变薄从而形成变形部。换言之，针对隔膜层的移动部而言，使其材料的厚度比变形部的材料的厚度厚，随着变形部的弹性变形使移动部的整体作为刚体而移动。

在上述这样的结构的微型阀中，在异物混入了形成有样品气体的流入口/流出口的基座层与隔膜层的移动部之间的密封面的情况下，即使为了切断样品气体而使气动流体流入，也有可能因该异物而在基座层与移动部之间产生间隙从而影响密封性。那样的话，样品气体会自流入口向流出口泄漏，可能会成为无法恰当地进行流路切换的状态。

本发明是为了解决上述这样的课题而做成的，其目的在于在具有层叠构造的微型阀中提高异物混入时的密封性。

用于解决问题的方案

本发明的第1技术方案的微型阀具有层叠构造，具备基座层和隔膜层。在基座层形成有用于向微型阀内导入气体的流入口以及用于使自流入口导入的气体向外部流出的流出口。隔膜层与基座层相对地配置。隔膜层通过弹性变形而对自流入口向流出口的气体的流通和切断进行切换。隔膜层具有交替地形成有多个变形区域和多个刚体区域的结构，所述变形区域能够随着气动流体向微型阀内流入而弹性变形。在隔膜层中，通过使多个变形区域的至少一部分弹性变形从而封闭流入口以及流出口中的至少一者。

本发明的第2技术方案的微型阀具有层叠构造，具备基座层和隔膜层。在基座层形成有用于向微型阀内导入气体的流入口以及用于使自流入口导入的气体向外部流出的流出口。隔膜层与基座层相对地配置。隔膜层通过弹性变形而对自流入口向流出口的气体的流通和切断进行切换。隔膜层包含变形区域和刚体区域，所述变形区域能够随着气动流体向微型阀内流入而弹性变形，所述刚体区域用于限制变形区域的变形量。流入口以及流出口中的至少一者会被弹性变形后的变形区域覆盖而被封闭。

发明的效果