[发明专利]一种应用于钕铁硼重稀土晶界扩散工艺的真空炉

说明书

本申请涉及一种应用于钕铁硼重稀土晶界扩散工艺的真空炉，包括炉体、设置在炉体内的带状电阻加热器以及位于炉体与带状电阻加热器之间的反射屏；炉体包括炉壳、铰接于炉壳一端的前炉门以及固定在炉壳另一端的后炉门；带状电阻加热器包括前加热器、炉壳加热器和后加热器；反射屏包括固定在前炉门上的前反射屏、分体设置在炉壳内的炉壳反射屏以及固定在后炉门上的后反射屏；炉壳反射屏上设有柔性连接炉壳加热器的第一柔性固定组件，前反射屏和后反射屏朝向炉壳的一侧分别设有柔性连接前加热器和后加热器的第二柔性固定组件。本申请具有能够降低电阻加热器由于高温膨胀而受到硬性碰撞和挤压的程度，从而提高使用寿命的效果。

技术领域

本申请涉及钕铁硼重稀土晶界扩散工艺的领域，尤其是涉及一种应用于钕铁硼重稀土晶界扩散工艺的真空炉。

背景技术

磁性材料行业的工业生产中，普遍采用在熔炼过程中掺杂重稀土材料一同熔炼的方式来增加矫顽力。为了更加有效的获得磁体较高性能，之后又采用重稀土晶界扩渗的工艺，有效降低重稀土的使用量，使重稀土元素只存在于晶界中，这样更容易获得高性能的磁体。

目前的重稀土扩渗工艺主要包括：通过蒸镀法或涂覆法在工件表面形成一层含有重稀土元素的薄膜，然后通过磁性材料烧结设备对工件进行高温热扩散和回火处理，使重稀土元素渗透至磁性材料中，完成重稀土扩渗。为保证足够的加热温度，磁性材料烧结设备中通常采用电阻加热器进行高温加热，而电阻加热器主要是通过一些紧固组件固定在磁性材料烧结设备内壁上。

针对上述中的相关技术，发明人认为通过紧固组件对电阻加热器进行硬性连接的方式存在以下缺陷：当温度过高时，电阻加热器会产生加热膨胀，导致电阻加热器与紧固组件之间产生硬性的碰撞和挤压，影响使用寿命。

发明内容

为了降低电阻加热器由于高温膨胀而受到硬性碰撞和挤压的程度，从而提高使用寿命，本申请提供一种应用于钕铁硼重稀土晶界扩散工艺的真空炉。

本申请提供的一种应用于钕铁硼重稀土晶界扩散工艺的真空炉，采用如下的技术方案：

一种应用于钕铁硼重稀土晶界扩散工艺的真空炉，包括炉体、设置在炉体内的带状电阻加热器以及位于炉体与带状电阻加热器之间的反射屏；

炉体包括内部为中空结构的炉壳、铰接于炉壳一端的前炉门以及固定在炉壳相对前炉门一端的后炉门；

带状电阻加热器包括前加热器、炉壳加热器和后加热器；反射屏包括固定在前炉门上的前反射屏、分体设置在炉壳内且呈圆柱筒状的炉壳反射屏以及固定在后炉门上的后反射屏；

炉壳反射屏上设有将炉壳加热器以柔性连接的方式固定在炉壳反射屏内的第一柔性固定组件，前反射屏和后反射屏朝向炉壳的一侧分别设有第二柔性固定组件，第二柔性固定组件分别将前加热器以柔性连接的方式固定在前反射屏上、将后加热器以柔性连接的方式固定在后反射屏上。

通过采用上述技术方案，本申请中通过设置前加热器、炉壳加热器和后加热器这三个独立的个体，能够分别对炉体内的不同位置进行加热，保证炉体内温度的均匀性；通过设置第一柔性固定组件和第二柔性固定组件，能够将前加热器、炉壳加热器和后加热器分别以柔性连接的方式一一固定在前炉门、炉壳和后炉门上，当带状电阻加热器高温膨胀时，第一柔性固定组件和第二柔性固定组件能够为带状电阻加热器提供一定的膨胀空间，大大降低了带状电阻加热器由于高温膨胀而受到硬性碰撞和挤压的程度，提高了使用寿命。

优选的，所述第一柔性固定组件包括位于炉壳反射屏内部的柱体、固接在柱体一端且沿炉壳反射屏径向穿出的第一穿杆、固接在柱体另一端且穿过炉壳加热器的第二穿杆、分别插接至第一穿杆伸出炉壳反射屏一端和第二穿杆穿出炉壳加热器一端的B型开口销，柱体靠近炉壳加热器的一端与插接在第二穿杆上的B型开口销之间存在供炉壳加热器膨胀的间距。