[发明专利]电致变色器件的制备方法及电致变色器件

权利要求书

1.一种电致变色器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供一基板；

自所述基板向外依次沉积形成第一透明导电层、电致变色层和第一离子传输层；

对所述第一离子传输层进行清洗，以去除所述第一离子传输层中的杂质颗粒；

在所述第一离子传输层背向所述基板的一侧沉积第二离子传输层；

Li化所述第二离子传输层和所述第一离子传输层；以及

在所述第二离子传输层背向所述第一离子传输层的一侧依次沉积对电极层和第二透明导电层，以形成电致变色器件。

2.如权利要求1所述的电致变色器件的制备方法，其特征在于，所述对所述第一离子传输层进行清洗的步骤中，采用干式清洗工艺或湿式清洗工艺对所述第一离子传输层进行清洗。

3.如权利要求1所述的电致变色器件的制备方法，其特征在于，所述第一离子传输层和所述第二离子传输层的总厚度为10～300nm，其中，所述第一离子传输层的厚度占所述第一离子传输层和所述第二离子传输层的总厚度的10～90％。

4.如权利要求3所述的电致变色器件的制备方法，其特征在于，所述第一离子传输层和所述第二离子传输层的总厚度为20～80nm，其中，所述第一离子传输层的厚度占所述第一离子传输层和所述第二离子传输层的总厚度的40～60％。

5.如权利要求1所述的电致变色器件的制备方法，其特征在于，所述第一离子传输层为金属氧化物，或者，金属的氮化物、碳化物、氧氮化物，或者金属的氧碳化物类似物或氧碳化物的至少一种；和/或

所述第二离子传输层为金属氧化物，或者，金属的氮化物、碳化物、氧氮化物，或者，金属的氧碳化物类似物或氧碳化物的至少一种。

6.如权利要求5所述的电致变色器件的制备方法，其特征在于，所述第一离子传输层为Ta₂O₅，所述第二离子传输层为SiO₂；

或者，所述第一离子传输层为SiO₂，所述第二离子传输层为Nb₂O₅。

7.如权利要求1至6任一项所述的电致变色器件的制备方法，其特征在于，所述第一透明导电层为ITO、FTO、AZO中的至少一种，和/或，所述第二透明导电层为ITO、FTO、AZO中的至少一种。

8.如权利要求1至6任一项所述的电致变色器件的制备方法，其特征在于，所述电致变色层为WO₃。

9.如权利要求1至6任一项所述的电致变色器件的制备方法，其特征在于，所述对电极层为钨酸镍、氧化镍、氧化钒中的至少一种。

10.一种电致变色器件，其特征在于，包括基板及自所述基板依次向外沉积形成的第一透明导电层、电致变色层、第一离子传输层、第二离子传输层、对电极层和第二透明导电层；

其中，沉积形成所述第一离子传输层之后，采用干式清洗工艺或湿式清洗工艺除去所述第一离子传输层的杂质颗粒后，依次沉积所述第二离子传输层、所述对电极层和所述第二透明导电层。