[发明专利]一种芯片高温测试装置及方法在审
申请号: | 202010806909.1 | 申请日: | 2020-08-12 |
公开(公告)号: | CN111751713A | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
发明(设计)人: | 王体;李辉;李俊强 | 申请(专利权)人: | 深圳市诺泰芯装备有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 深圳市中联专利代理有限公司 44274 | 代理人: | 李俊 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区沙井*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 高温 测试 装置 方法 | ||
1.一种芯片高温测试装置及方法,包括载盘支架装置(100),其特征在于:所述载盘支架装置(100)的底端一侧固定安装有高温测试机构(200),所述载盘支架装置(100)的顶端一侧固定安装有载盘加热装置(300),所述载盘加热装置(300)的上方设置有高温定位机构(400);
所述载盘支架装置(100)包括底部联结板(110),所述底部联结板(110)的顶端两侧均固定安装有支撑导杆柱(120),所述支撑导杆柱(120)的底端外侧设置有水平调节板(130),所述水平调节板(130)与底部联结板(110)之间通过水平调节螺栓(140)固定安装,所述水平调节板(130)的正面设置有测试座到位检测(131),所述支撑导杆柱(120)的顶端固定安装有顶部联结板(150),所述顶部联结板(150)的顶端固定安装有底部隔热板(160),所述底部隔热板(160)的顶端固定安装有侧边隔热板(161),所述底部隔热板(160)的顶端两侧分别安装有左隔热板(162)与右隔热板(163),所述底部隔热板(160)的上方设置有隔热罩支架(170),所述隔热罩支架(170)的上方设置有翻转外罩(180),所述翻转外罩(180)的背面设置有正面外罩(190),所述翻转外罩(180)与隔热罩支架(170)之间通过翻转罩限位(191)进行固定连接;
所述高温测试机构(200)包括XY调整底座(210),所述XY调整底座(210)的顶端设置有支撑联结架(220),所述支撑联结架(220)的侧面安装有测试升降气缸(230),所述测试升降气缸(230)的顶端安装有气缸传动联杆(231),所述气缸传动联杆(231)的另一端固定安装有气缸浮动接头(232),所述支撑联结架(220)的正面设置有升降张力弹簧(221),所述支撑联结架(220)的侧面安装有机构升降滑轨(222),所述机构升降滑轨(222)的侧面设置有滑轨联接板(223),所述滑轨联接板(223)的另一侧固定连接有直驱音圈电机(240),所述直驱音圈电机(240)的顶端安装有电机出力推杆(241),所述电机出力推杆(241)的另一端安装有轴承联结座(250),所述轴承联结座(250)的顶端设置有升降联杆座(260),所述升降联杆座(260)的顶端固定连接有测试联接PCB板(270),所述测试联接PCB板(270)的顶端安装有芯片载盘装置(280);
所述高温定位机构(400)包括机构安装底座(410),所述机构安装底座(410)的顶端固定安装有XY微调机构(420),所述XY微调机构(420)的顶端固定安装有电机安装板(430),所述机构安装底座(410)的侧面固定安装有下压滑轨安装块(440),所述下压滑轨安装块(440),所述下压滑轨安装块(440)的底端设置有弹簧定位块(441),所述弹簧定位块(441)的顶端一侧固定连接有凸轮张紧弹簧(442),所述下压滑轨安装块(440)的侧面设置有下压直线滑轨(443),所述下压直线滑轨(443)的另一侧设置有传动凸轮随动器(444),所述传动凸轮随动器(444)的侧面设置有下压张力调节栓(445),所述下压张力调节栓(445)的底端固定连接有下压张力弹簧(446),所述下压张力弹簧(446)的另一端固定连接有张力过载滑轨(447),所述张力过载滑轨(447)的另一端固定连接有过载滑轨联接件(448),所述过载滑轨联接件(448)的另一端固定安装有顶针张紧弹簧(450),所述顶针张紧弹簧(450)的底端固定安装有定位销联接件(451),所述定位销联接件(451)的底端两侧均固定安装有载盘定位销(452),所述载盘定位销(452)之间设置有芯片压紧顶针(453),所述过载滑轨联接件(448)的背面设置有过载检测传感器(449)。
2.根据权利要求1所述的一种芯片高温测试装置及方法,其特征在于:所述翻转外罩(180)的顶端固定安装有把手(181),所述翻转外罩(180)的顶端正面设置有外罩固定板(182),所述外罩固定板(182)与翻转外罩(180)之间通过活叶(183)活动连接。
3.根据权利要求1所述的一种芯片高温测试装置及方法,其特征在于:所述测试联接PCB板(270)的顶端一侧固定安装有测试金手指(271),所述测试金手指(271)的顶端固定安装有测试片压块(272)。
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