[发明专利]光刻用照光装置及自动调整其照度的方法

权利要求书

1.一种光刻用照光装置，其特征在于：所述光刻用照光装置包含︰

一光投射单元，包含一发光器件；

一驱动单元，与所述光投射单元相连接，以移动所述光投射单元；

一反射镜，所述反射镜设置于所述光投射单元的光投射路径上，以将所述光投射单元发出的光反射向光刻制程的一目标物，及为所述光感测器提供感测的一定点；

一光感测器，在所述反射镜上，且用以感测所述光投射单元所发出的光于所述反射镜上的所述定点的光强度；及

一控制器，用于接收所述光感测器所感测到的至少一光强度资讯，并根据所述至少一光强度资讯以指示所述驱动单元移动所述光投射单元。

2.如权利要求1所述的光刻用照光装置，其特征在于：所述控制器是通过比对所述光投射单元的位置及所述定点的光强度，得出所述光投射单元的一最佳位置，当所述光投射单元位于所述最佳位置时，所述定点的光强度为最强。

3.如权利要求1所述的光刻用照光装置，其特征在于：所述驱动单元包含数个驱动器，所述数个驱动器中的每一个分别能够在X轴、Y轴或Z轴中的一个轴的方向上移动所述光投射单元。

4.如权利要求1所述的光刻用照光装置，其特征在于：所述控制器用以储存所述光投射单元的多笔位置资讯及所述光感测器所测得的多笔光强度资讯，并根据所述多笔位置资讯及与所述多笔位置资讯分别相对应的所述光强度资讯，建构一位置与光强度的三维对应分布表，并依据所述位置与光强度的三维对应分布表指示所述驱动单元移动所述光投射单元。

5.如权利要求3所述的光刻用照光装置，其特征在于：所述光投射单元是以数个丝杆与所述数个驱动器相连接。

6.如权利要求1所述的光刻用照光装置，其特征在于：所述光投射单元包含一椭圆凹面镜，所述椭圆凹面镜用以指向化并聚焦所述光投射单元发出的光。

7.一种自动调整一光刻用照光装置照度的方法，其特征在于，包括步骤：

提供一光刻用照光装置步骤，所述光刻用照光装置包含：一光投射单元、一驱动单元、一反射镜、一光感测器及一控制器；

发出光线步骤，启动所述光投射单元，持续发出光线；

反射光线步骤，以所述反射镜持续将所述光线反射向光刻制程的一目标物；

移动光投射单元及感测步骤，以所述控制器指示所述驱动单元在所述驱动单元对应的数个轴向中的一轴向上移动所述光投射单元，在移动光投射单元的过程中以所述光感测器持续感测所述光线于反射镜上的一定点的光强度，并以所述控制器接收所述光强度资讯；

在所述驱动单元对应的数个轴向中的每一个上执行移动光投射单元及感测步骤；

处理资讯步骤，以所述控制器处理接收到的所述光强度资讯及控制器本身所具有的光投射单元位置资讯；及

定位所述光投射单元步骤，以所述控制器，根据所述控制器处理资讯的结果，指示所述驱动单元移动所述光投射单元。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于：所述处理资讯步骤包括：挑选一维座标步骤，以所述控制器将所述位置资讯与时间点相对应的光强度资讯配对，并将形成的所述数个配对互相比较，挑选出光强度为最大值时光投射单元在所述移动轴向上的对应一维座标资讯；

重复挑选步骤，在所述驱动单元可移动所述光投射单元的所有轴向中的每一个上各个执行一次挑选一维座标步骤；及

结合一维座标步骤，所述控制器将得到的数个所述最大光强度一维座标结合为一个最大光强度多维座标，并以所述最大光强度多维座标作为所述控制器处理资讯的结果。

9.如权利要求7所述的方法，其特征在于：在所述驱动单元对应的数个轴向中的每一个上执行移动光投射单元及感测步骤包括在X轴、Y轴及Z轴上执行移动光投射单元及感测步骤。

10.如权利要求7所述的方法，其特征在于：所述处理资讯步骤包括：建构三维分布步骤，以控制器储存所述光投射单元的多笔位置资讯及所述光感测器所测得的多笔光强度资讯，并根据所储存的所述多笔位置资讯及与所述多笔位置资讯分别相对应的所述光强度资讯，建构位置与光强度的三维对应分布表，并以所述分布表中光强度最大点的座标作为所述控制器处理资讯的结果。