[发明专利]预测晶圆失效率的方法及其装置

权利要求书

1.一种预测晶圆失效率的方法，其特征在于，包括：

获取多个目标晶圆针对预定项目的测量结果，并得到所述预定项目的项目失效率；

对多个所述测量结果和所述项目失效率进行拟合运算，以预测出所述目标晶圆的晶圆失效率；

输出所述目标晶圆的晶圆失效率。

2.如权利要求1所述的预测晶圆失效率的方法，其特征在于，所述拟合运算的方法包括：

对多个所述测量结果和所述项目失效率使用至少两种的拟合运算公式进行初步拟合运算，并得到每个拟合运算公式对应的R²值，其中，所述R²表示所述初步拟合运算中每个拟合运算公式对应的拟合优度；

对所有R²值进行排序；

选取最大R²值对应的拟合运算公式，以作为最终拟合运算公式；

对多个所述测量结果和所述项目失效率使用所述最终拟合公式进行拟合运算，以得到所述目标晶圆的晶圆失效率。

3.如权利要求2所述的预测晶圆失效率的方法，其特征在于，所述至少两种拟合运算公式包括：线性方程拟合公式和二次方程拟合公式。

4.如权利要求1所述的晶圆失效检测方法，其特征在于，在进行所述拟合运算之前，所述方法还包括：对多个所述目标晶圆的测量结果所对应的数值进行数据清洗，以将数值中的异常数值进行过滤。

5.如权利要求4所述的预测晶圆失效率的方法，其特征在于，对所述异常数值进行过滤的方法包括：使用3IQR方法进行过滤。

6.如权利要求1所述的预测晶圆失效率的方法，其特征在于，在进行所述拟合运算之前，所述方法还包括：对多个所述测量结果和所述项目失效率进行降维处理，以得到降维测量结果；

以及所述拟合运算包括：对所述降维测量结果和所述项目失效率进行拟合运算。

7.如权利要求6所述的预测晶圆失效率的方法，其特征在于，所述降维方法包括：特征提取法。

8.如权利要求6所述的预测晶圆失效率的方法，其特征在于，在对多个所述测量结果进行降维处理之后，所述方法还包括：对所述降维测量结果进行展开重构。

9.如权利要求1所述的预测晶圆失效率的方法，其特征在于，所述预定项目包括：开启电压、饱和电流、关闭电流、击穿电压、接薄层电压、基础电阻、栅氧化层厚度以及隔离层厚度中的至少一种。

10.如权利要求1所述的预测晶圆失效率的方法，其特征在于，获取多个目标晶圆针对预定项目的测量结果，并得到所述预定项目的项目失效率的方法包括：

获取多个目标晶圆针对至少两种预定项目的初始测量结果，以及每种所述预定项目对应的失效率预测值；

将每种所述预定项目对应的失效率预测值与其对应的实际失效率进行权重值计算，得到每种所述预定项目的权重值；

根据所述权重值从大到小的顺序对每种所述预定项目进行排序；

将排序的序号在前的所述预定项目对应的所述初始测量结果和所述实际失效率确定为所述预定项目的所述测量结果和所述项目失效率。

11.一种预测晶圆失效率的装置，其特征在于，包括：

获取模块，用于获取多个目标晶圆针对预定项目的测量结果，并得到所述预定项目的项目失效率；

处理模块，用于对多个所述测量结果和所述项目失效率进行拟合运算，以预测出所述目标晶圆的晶圆失效率；

输出模块，用于输出所述目标晶圆的晶圆失效率。

12.如权利要求11所述的预测晶圆失效率的装置，其特征在于，所述处理模块包括编码器，所述编码器用于构建神经网络，所述神经网络用于对多个所述测量结果进行降维处理；以及对所述降维测量结果进行展开重构。