[发明专利]一种硅片的旋转预矫正装置

权利要求书

1.一种硅片的旋转预矫正装置，包括机架，所述机架上设有升降驱动装置驱动的放置平台，所述放置平台上定位有硅片盛放盒，其特征在于：所述机架上设有水平支架，所述水平支架上设有竖向驱动机构，所述竖向驱动机构上驱动有支撑座，所述支撑座上转动安装有矫正机构，所述矫正机构与所述硅片盛放盒的开口端同侧设置。

2.如权利要求1所述的用于对硅片的旋转预矫正装置，其特征在于：所述矫正机构包括转动安装于所述支撑座上、并水平布置的转盘，所述转盘由动力元件进行驱动，所述转盘上设有竖向设置的拨杆。

3.如权利要求2所述的用于对硅片的旋转预矫正装置，其特征在于：所述拨杆铰接于所述转盘上，且所述拨杆的铰接端与所述转盘之间设有用于实现所述拨杆摆动的驱动机构。

4.如权利要求2所述的用于对硅片的旋转预矫正装置，其特征在于：所述转盘上设有滑槽，所述滑槽沿所述转盘的径向设置，所述拨杆的一端滑动安装于所述滑槽内，位于所述滑槽内的所述拨杆与所述转盘之间设有弹性复位元件。

5.如权利要求3或4所述的用于对硅片的旋转预矫正装置，其特征在于：所述拨杆在所述转盘上竖向设置有多根。

6.如权利要求2所述的用于对硅片的旋转预矫正装置，其特征在于：所述拨杆为一根竖向设置于所述转盘上的柱状结构，所述柱状结构的转动轨迹为渐开线式轨迹。

7.如权利要求3或4或6所述的用于对硅片的旋转预矫正装置，其特征在于：所述拨杆的高度大于或等于所述硅片盛放盒的高度。

8.如权利要求7所述的用于对硅片的旋转预矫正装置，其特征在于：所述拨杆的外壁上套装有柔性材料制造而成的保护套。

9.如权利要求1所述的用于对硅片的旋转预矫正装置，其特征在于：所述竖向驱动机构包括竖向设置于所述水平支架上的竖向支架，所述竖向支架上竖向滑动安装有竖向滑座，所述竖向滑座与所述竖向支架之间设有第一直线驱动元件；

所述竖向滑座上设有第二直线驱动元件，所述第二直线驱动元件的驱动端设有滑块，所述滑块滑动安装于所述竖向滑座上；所述支撑座设置于所述滑块上。

10.如权利要求9所述的用于对硅片的旋转预矫正装置，其特征在于：所述水平支架上水平滑动安装有水平滑座，所述水平支架和所述水平滑座之间设有第三直线驱动元件；所述竖向支架设置于所述水平滑座上。