[发明专利]一种硅片的旋转预矫正装置

说明书

本发明公开了一种硅片的旋转预矫正装置，包括机架，所述机架上设有升降驱动装置驱动的放置平台，所述放置平台上定位有硅片盛放盒，所述机架上设有水平支架，所述水平支架上设有竖向驱动机构，所述竖向驱动机构上驱动有支撑座，所述支撑座上转动安装有矫正机构，所述矫正机构与所述硅片盛放盒的开口端同侧设置。通过竖向驱动机构带动支撑座上升、并靠近硅片盛放盒内的硅片，之后通过转动的矫正机构对硅片施力、并使硅片与硅片盛放盒上的端臂相抵，进而在往光刻机移送硅片前，完成了(位置发生变化的)硅片的复位矫正工作，提高了硅片移送至光刻区域的精确度，有效保障了光刻机正常工作的连续性和工作效率。

技术领域

本发明属于硅片矫正技术领域，尤其涉及一种硅片的旋转预矫正装置。

背景技术

光刻机是一种常用的半导体生产过程中的设备，其工作过程是：将一个装有若干片硅片的硅片盛放盒(一般称之为花篮)放置在一个可升降的放置平台上，放置平台上设置有定位结构将花篮的位置准确定位，然后利用取片机构将花篮内的硅片逐片取出并送至光刻机的光刻工位中，光刻机会对每个硅片进行寻边，从而最终判断硅片的边缘位置，确定光刻区域。

然而，在工作过程中会存在一个问题，虽然花篮的位置是可以准确的定位，但是硅片放在花篮内的位置并不一致，一般硅片放置在花篮的片槽中，花篮的左右两侧的侧壁是和硅片的直径适配，花篮的一端开口，另一端具有端壁，而硅片塞入到片槽后，硅片并不一定会完全与端壁接触，尤其是花篮被移动至放置平台的过程中，硅片也可能会出现晃动等位置变化的现象，因此即使硅片原本放置的比较准确，但是移动过程中硅片位置依旧会改变，这样，取片机构将位置不准确的硅片转移到光刻区域时，硅片的位置就会发生偏移，那么，当这个位置偏移比较大时，寻边动作无法完成，导致光刻机会停机报警，严重影响了工作效率。

发明内容

本发明提供了一种硅片的旋转预矫正装置，以达到硅片在往光刻机移送前完成在硅片盛放盒内的位置矫正，进而保证光刻机正常连续工作和工作效率的目的。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种硅片的旋转预矫正装置，包括机架，所述机架上设有升降驱动装置驱动的放置平台，所述放置平台上定位有硅片盛放盒，所述机架上设有水平支架，所述水平支架上设有竖向驱动机构，所述竖向驱动机构上驱动有支撑座，所述支撑座上转动安装有矫正机构，所述矫正机构与所述硅片盛放盒的开口端同侧设置。

作为一种改进，所述矫正机构包括转动安装于所述支撑座上、并水平布置的转盘，所述转盘由动力元件进行驱动，所述转盘上设有竖向设置的拨杆。

作为进一步的改进，所述拨杆铰接于所述转盘上，且所述拨杆的铰接端与所述转盘之间设有用于实现所述拨杆摆动的驱动机构。

作为进一步的改进，所述转盘上设有滑槽，所述滑槽沿所述转盘的径向设置，所述拨杆的一端滑动安装于所述滑槽内，位于所述滑槽内的所述拨杆与所述转盘之间设有弹性复位元件。

作为再进一步的改进，所述拨杆在所述转盘上竖向设置有多根。

作为进一步的改进，所述拨杆为一根竖向设置于所述转盘上的柱状结构，所述柱状结构的转动轨迹为渐开线式轨迹。

作为更进一步的改进，所述拨杆的高度大于或等于所述硅片盛放盒的高度。

作为又进一步的改进，所述拨杆的外壁上套装有柔性材料制造而成的保护套。

作为一种改进，所述竖向驱动机构包括竖向设置于所述水平支架上的竖向支架，所述竖向支架上竖向滑动安装有竖向滑座，所述竖向滑座与所述竖向支架之间设有第一直线驱动元件；

所述竖向滑座上设有第二直线驱动元件，所述第二直线驱动元件的驱动端设有滑块，所述滑块滑动安装于所述竖向滑座上；所述支撑座设置于所述滑块上。