[发明专利]一种原位原子层沉积扫描电子显微镜

权利要求书

1.一种原位原子层沉积扫描电子显微镜，其特征在于：包括机架，所述机架上设置有电镜腔室，所述电镜腔室一侧设置有开口，所述电镜腔室一侧的开口端固定连接有密封阀，所述密封阀远离所述电镜腔室的一侧固定安装有原子层沉积室，所述原子层沉积室远离所述密封阀的一侧固定安装有水平设置的磁力杆，所述磁力杆内活动穿设有磁力杆轴，所述磁力杆轴端部能够水平运动于原子层沉积室或电镜腔室内；所述电镜腔室顶部密封安装有电子枪，所述电镜腔室底部密封连接有分子泵。

2.根据权利要求1所述的原位原子层沉积扫描电子显微镜，其特征在于：所述机架上固定安装有减震台，所述电镜腔室固定设置于所述减震台上；所述减震台上开设有通孔，所述分子泵通过所述减震台的通孔与所述电镜腔室连接。

3.根据权利要求1所述的原位原子层沉积扫描电子显微镜，其特征在于：所述电镜腔室侧壁上设置有观察窗，所述观察窗采用透明材质制成。

4.根据权利要求1所述的原位原子层沉积扫描电子显微镜，其特征在于：所述机架底部对称设置有四个地脚，所述地脚的高度能够调节。

5.根据权利要求4所述的原位原子层沉积扫描电子显微镜，其特征在于：所述机架底部安装有滚轮，所述滚轮设置于相邻两个所述地脚之间。

6.根据权利要求2所述的原位原子层沉积扫描电子显微镜，其特征在于：所述电镜腔室底部对称设置有四个垫块，所述电镜腔室通过垫块与所述减震台固定连接。