[发明专利]一种用于光刻机的防震装置及光刻机

权利要求书

1.一种用于光刻机的防震装置，其特征在于，包括：

磁悬防震机构，所述磁悬防震机构包括磁悬移动板、密封滑球和导向板，所述磁悬移动板内嵌在所述导向板中，所述磁悬移动板在所述导向板中滑动安装；

所述密封滑球活动安装在磁悬移动板与导向板之间；

所述磁悬移动板具有多个密封隔层，所述密封隔层位于磁悬移动板两侧位置，且上下两侧均有设置；

所述导向板具有多个密封间层，所述密封间层位于导向板中，靠近磁悬移动板方向，且同时设置在上下两侧，所述密封间层位与所述密封隔层错位无接触相对安装。

2.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的防震装置，其特征在于，还包括主体基座与气压密封器，所述气压密封器固定安装在主体基座中，用于对磁悬防震机构中的磁悬移动板与导向板，进行气封。

3.根据权利要求2所述的一种用于光刻机的防震装置，其特征在于，所述主体基座包括主体、支撑立柱、隔层地脚和吸震器，所述支撑立柱设置在主体下，位于主体四角处，所述隔层地脚固定安装在所述支撑立柱下，所述吸震器一面固定安装在所述支撑立柱上，所述吸震器另一面固定安装在所述主体下。

4.根据权利要求3所述的一种用于光刻机的防震装置，其特征在于，所述吸震器包括壳体、释压孔与传递件，所述壳体中装入有防冻液、所述释压孔设在壳体表面，所述传递件固定设置在壳体内表面，并延伸至防冻液的液位中；

所述传递件具有传递铲面与固定段，所述固定段设置在靠近壳体内表面处，所述传递铲面设置在固定段上，用于将振动传递给防冻液中。

5.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的防震装置，其特征在于，所述密封隔层之间的距离，在远离导向板的方向，距离逐渐减少。

6.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的防震装置，其特征在于，所述密封隔层具有磁性，所述密封间层具有磁性，所述密封间层位于所述密封隔层磁性相反。

7.一种光刻机，其特征在于：包括如权利要求1-6中任一所述的用于光刻机的防震装置。

8.根据权利要求7所述的一种光刻机，其特征在于，所述光刻机采用紫外光作为光源。

9.根据权利要求8所述的一种光刻机，其特征在于，所述紫外光的波长在10-365nm之间。