[发明专利]基板处理装置

说明书

本发明的目的在于提供一种能够合适地搬运基板的基板处理装置。基板处理装置(1)具有容纳架载置部(3)、搬运机构(4)、控制部(9)。容纳架载置部载置容纳架(C)。容纳架具有在上下方向(Z)上排列的多个搁板(22)。搁板分别以水平姿势载置一张基板(W)。搬运机构向载置于容纳架载置部的容纳架(C)搬运基板。控制部(9)控制搬运机构(4)。搬运机构(4)具有手部(33)和手部驱动部(34)。手部支撑基板。手部驱动部(34)使手部(33)移动。控制部(9)根据搬运机构从搁板取下的基板或搬运机构(4)放置于搁板的基板的形状，改变向沿上下方向(Z)相邻的两个搁板(22)之间插入手部(33)时的手部的高度位置(HA)。

技术领域

本发明涉及一种对基板进行处理的基板处理装置。基板例如是半导体晶片、液晶显示器用基板、有机EL(Electroluminescence：电致发光)用基板、FPD(Flat PanelDisplay：平板显示器)用基板、光显示器用基板、磁盘用基板、光盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板或者太阳能电池用基板。

背景技术

日本特开2008-270626号公报公开了一种基板处理装置。下面，将日本特开2008-270626号公报记载的附图标记加上括号来记载。基板处理装置(1)具有装载口(16)和检查装置。装载口(16)容纳盒(C)。盒(C)容纳多张晶片(W)。检查装置具有主卡盘(13)和探测针卡(14)。基板(W)载置于主卡盘(13)上。探测针卡(14)设置于主卡盘(13)的上方。

基板处理装置(1)具有基板搬运装置(18)。基板搬运装置(18)基于伯努利原理来保持基板(W)。基板搬运装置(18)在容纳于装载口(16)的盒(C)与主卡盘(13)之间搬运基板(W)。

基板搬运装置(18)具有镊子(17)和吸附机构(171)。吸附机构(171)设置于镊子(17)的下表面。吸附机构(171)与高压空气源连通。高压空气源向吸附机构(171)供给高压空气。在吸附机构(171)位于基板(W)的上方时，高压空气从吸附机构(171)通过吸附机构(171)与基板(W)的上表面之间的间隙流出。由此，吸附机构(171)保持基板(W)的上表面。

近年来，对基板进行薄型化以及大口径化。若基板的厚度变薄且基板的直径变大，则基板的挠曲量显著变大。因此，在以往的基板搬运装置(18)中，有时难以相对于盒合适地搬运基板。

发明内容

本发明鉴于这样的情况而提出，其目的在于，提供一种能够合适地搬运基板的基板处理装置。

为了达到这样的目的，本发明为如下那样的结构。即，本发明的基板处理装置，

具有：

容纳架载置部，载置容纳架；

搬运机构，向载置于所述容纳架载置部的容纳架搬运基板；以及

控制部，控制所述搬运机构，

所述容纳架具有在上下方向上排列的多个搁板，

所述搁板分别以水平姿势载置一张基板，

所述搬运机构具有支撑基板的手部、以及使所述手部移动的手部驱动部，

所述控制部根据所述搬运机构从所述搁板取下的基板的形状以及所述搬运机构放置于所述搁板的基板的形状中的至少任一个，改变向沿上下方向相邻的两个所述搁板之间插入所述手部时的所述手部的高度位置。