[发明专利]光学放大器和光学放大器的检查方法

权利要求书

1.一种光学放大器，该光学放大器包括：

光学放大器芯片，该光学放大器芯片包括一对半导体光学放大器SOA、U形波导和两个电极，该U形波导连接该对SOA，所述两个电极分别与该对SOA对应并且彼此分离；以及

基底基板，该基底基板包括连接所述两个电极的公共的金属布线，并且所述光学放大器芯片安装在所述基底基板上。

2.根据权利要求1所述的光学放大器，其中，

所述基底基板包括：

硅层；

第一绝缘层，该第一绝缘层被层压在所述硅层上；

波导层，该波导层形成在所述第一绝缘层上并且由硅制成；以及

第二绝缘层，该第二绝缘层覆盖所述波导层。

3.根据权利要求2所述的光学放大器，其中，

所述基底基板包括平台部，该平台部通过至少切除所述第一绝缘层、所述波导层和所述第二绝缘层而形成，并且

所述光学放大器芯片安装在所述平台部上。

4.根据权利要求2所述的光学放大器，其中，

该对SOA具有与所述波导层的侧表面光耦合的侧表面。

5.根据权利要求1所述的光学放大器，其中，

由单个电源经由所述两个电极和所述金属布线来驱动该对SOA。

6.一种光学放大器的检查方法，该光学放大器包括U形波导连接的一对半导体光学放大器SOA，该检查方法包括以下步骤：

经由分别与该对SOA对应并且彼此分离的两个电极中的一个电极向该对SOA中的一个SOA输入正向电流；

经由所述两个电极中的另一个电极向该对SOA中的另一个SOA施加反向偏置；以及

测量在该对SOA中的所述另一个SOA中产生的光电流。

7.根据权利要求6所述的光学放大器的检查方法，该检查方法还包括以下步骤：

将预定的光输入到该对SOA的所述一个SOA的端表面。