[发明专利]一种核壳结构复合粉前驱体及LTCC基板的制备方法有效
申请号: | 202010826757.1 | 申请日: | 2020-08-17 |
公开(公告)号: | CN111875361B | 公开(公告)日: | 2022-05-10 |
发明(设计)人: | 王君从;岳红维;吕旭涛;陈丹熠;刁手政;冯航;孙宇凯;张宏科;赵晓龙;王志浩;王志伟;田爱国;刘子奕;贾坤;赵伟杰;陈谦;刘鹏 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第五十四研究所 |
主分类号: | C04B35/117 | 分类号: | C04B35/117;C04B35/622;C04B35/624;C04B35/628;C04B35/64 |
代理公司: | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 050081 河北省石家庄市中山西路5*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 结构 复合 前驱 ltcc 制备 方法 | ||
1.一种核壳结构复合粉前驱体的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)将5wt%~15wt%的碳酸钙粉末溶解在HNO3中制成硝酸溶液,然后将5wt%~15wt%的硼酸,1wt%~10wt%的硝酸镧、硝酸铕或硝酸镝,以及所述硝酸溶液一起加入H2O中,在25℃~60℃的水浴锅中搅拌30min~60min使其充分溶解,再加入40wt%~60wt%的氧化铝陶瓷粉体,粉体粒径为0.1μm~20μm,制备出A溶液;
(2)按15 ~5:1的物质的量比将正硅酸乙酯加入乙醇中,在水浴锅中搅拌30min~60min,制成正硅酸乙酯的乙醇溶液,即B溶液;
(3)将A溶液逐滴缓慢加入B溶液中,同时快速搅拌,使A溶液和B溶液充分反应,然后加入硝酸将pH调至4.5~6.0;
(4)将步骤(3)所得混合溶液置于25℃~50℃水浴锅中搅拌2h~6h,得到湿凝胶;
(5)将湿凝胶在常温下自然陈化24h~36h,使其胶凝化;
(6)将陈化后的湿凝胶放在干燥箱中,在100℃~150℃温度下干燥16h~24h,使其水分排出;
(7)将干燥后的凝胶冷却至室温,放入球磨机中磨成粉末,得到核壳结构的陶瓷-玻璃复合粉前驱体;球磨机的转速为200rpm/min ~300rpm/min,球磨时间为6~24h。
2.一种LTCC基板的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)将权利要求1所得复合粉前驱体放入电阻炉内,以0.5℃/min ~1.5℃/min的升温速率逐渐升温至100℃~140℃,然后保温60min ~120min,使水分和乙醇充分挥发;然后再以0.5℃/min ~1.5℃/min的升温速率逐渐升温至300℃~360℃,保温60min~120min,使残余有机物分解挥发,并实现复合粉的玻璃相;接着随炉冷却,得到核壳结构陶瓷-玻璃复合粉;
(2)将无水乙醇和甲苯按1~2:1的重量比缓慢加入研磨罐中,用移液枪取无水乙醇和甲苯总重量0.2%~1%的鱼油加入研磨罐中,并称取无水乙醇和甲苯总重量40%~65%的陶瓷-玻璃复合粉加入研磨罐中进行球磨混合,球磨转速为250rpm/min~350rpm/min,球磨时间为6h~12h;接着加入无水乙醇和甲苯总重量10%~20%的邻苯二甲酸丁酯增塑剂,继续球磨6h~12h;然后再加入无水乙醇和甲苯总重量1%~5%的PVB粘结剂,继续球磨6h~12h,得到流延用浆料;对浆料进行真空处理,然后将真空处理后的浆料在流延机上进行流延处理,流延速度为0.1m/min~0.5m/min,前刀高度控制在0.1mm~0.5mm,后刀速度控制在0.1mm~0.4mm,经过室温干燥后即得流延素坯片;
(3)将流延素坯片进行裁片和等静压叠压处理,然后放置于箱式电阻炉中进行烧结,得到LTCC基板。
3.根据权利要求2所述的一种LTCC基板的制备方法,其特征在于,步骤(3)中的烧结制度为:以2℃/min~8℃/min的升温速率升温至500℃~600℃,保温10min~60min;再以1℃/min~5℃/min的升温速率升温至700℃~950℃,保温60min~240min。
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