[发明专利]一种异质结太阳能电池的制作方法

说明书

本发明公开了一种异质结太阳能电池的制作方法，包括：提供N型单晶硅片；通过制绒清洗工艺在单晶硅片正面形成金字塔绒面结构；通过化学抛光清洗工艺在单晶硅片背面形成半抛光结构；依次设在硅片正面金字塔表面的第一本征非晶硅层、n型掺杂非晶硅层、第一透明导电膜层、第一金属电极；依次设在硅片背面半抛光表面的第二本征非晶硅层、p型掺杂非晶硅层、第二透明导电膜层、第二金属电极。本发明通过将电池背面设置为半抛光面，使电池背面非晶硅膜层更加均匀，从而实现更好的钝化效果；提高电池背面反射，从而提高电池电流；减少电池背面20％‑30％透明导电膜沉积，大幅降低透明导电膜成本。

技术领域

本发明涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种异质结太阳能电池的制作方法。

背景技术

太阳能电池是一种能将太阳能转换成电能的半导体器件，在光照条件下太阳能电池内部会产生光生电流，通过电极将电能输出。近年来，太阳能电池生产技术不断进步，生产成本不断降低，转换效率不断提高，太阳能电池发电的应用日益广泛并成为电力供应的重要能源。

硅基异质结太阳能电池是目前高效太阳能电池研发的方向之一。硅基异质结太阳能电池一般采用双面金字塔绒面结构的N型单晶硅片制作形成，在硅片正面沉积本征非晶硅层和n型掺杂非晶硅层，在硅片背面沉积本征非晶硅层与p型掺杂非晶硅层，之后在硅片两面分别形成透明导电膜及金属电极。然而背面金字塔绒面不利于入射光的二次反射吸收，且非晶硅层沉积在金字塔表面厚度均匀性相对较差，使得背面钝化的难度更大，钝化可优化空间也更小。

发明内容

为了解决现有技术中的问题，本发明提供了一种异质结太阳能电池的制作方法，其制备的太阳能转换效率更高，且生产成本更低。

为实现上述目的，本发明提供了一种异质结太阳能电池的制作方法，包括：

提供N型单晶硅片；

通过制绒清洗工艺在单晶硅片正面形成金字塔绒面结构；

通过化学抛光清洗工艺在单晶硅片背面形成半抛光结构；

依次设在硅片正面金字塔表面的第一本征非晶硅层、n型掺杂非晶硅层、第一透明导电膜层、第一金属电极；

依次设在硅片背面半抛光表面的第二本征非晶硅层、p型掺杂非晶硅层、第二透明导电膜层、第二金属电极；

优选的，所述硅片金字塔绒面大小为1-12微米。

优选的，所述背面形成半抛光结构为硅片背面通过水上漂使硅片背面形成半抛光结构。

优选的，所述硅片半抛光结构表面粗糙度为0.5-3微米。

优选的，所述第一本征非晶硅层、第二本征非晶硅层、n型非晶硅层、 p型非晶硅层采用化学气相沉积技术形成，所述化学气相沉积技术为等离子增强化学气相沉积。

优选的，所述第一本征非晶硅层、第二本征非晶硅层、n型非晶硅层、 p型非晶硅层厚度为4-16纳米。

优选的，所述第一透明导电膜层、第二透明导电膜层为掺钨氧化铟IWO 薄膜。

优选的，所述第一透明导电膜层厚度为70-120纳米，第二透明导电膜层厚度为50-100纳米。

优选的，所述第一透明导电膜层、第二透明导电膜层通过活性等离子沉积形成。

优选的，所述第一金属电极、第二金属电极具有多主栅图案，其中第二金属电极细栅数量是第一金属电极细栅数量的1.5-3倍，第一金属电极、第二金属电极主栅数量一致。

优选的，所述第一金属电极、第二金属电极通过丝网印刷技术形成。