[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 202010830162.3 | 申请日: | 2020-08-18 |
公开(公告)号: | CN112563243A | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 黄柏瑜;林诗哲;王朝勋;赵高毅;王美匀 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/528 | 分类号: | H01L23/528;H01L21/768;H01L29/78;H01L21/336 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 聂慧荃;闫华 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【权利要求书】:
1.一种半导体装置,包括:
一源极/漏极,位于一基板上;
一源极/漏极接点,位于该源极/漏极上;以及
一第一通孔,位于该源极/漏极接点上,其中该第一通孔具有横向凸出的一底部,与位于横向凸出的该底部上的一顶部。
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