[发明专利]绿色版图的认证方法及预警点的风险性的判断方法

权利要求书

1.一种绿色版图的认证方法，用于建立出版版图的OPC处理的低风险点的信息库，其特征在于，包括：

获取成品版图上的低风险区域，所述低风险区域包括多个第一低风险点；

获取第一低风险点的当前层的版图形状、参考层的版图形状、OPC模拟值和OPC修正后的值，并建立第一信息库；

获得出版版图的预警点的信息，判断所述预警点的当前层的版图在第一范围内是否和所述第一信息库中的当前层版图相同；

如果预警点的当前层的版图形状在第一范围内和所述第一信息库中的当前层版图形状相同，则判断预警点的参考层的版图形状在第二范围内是否和所述第一信息库中的参考层的版图形状是否相同；

如果预警点的参考层的版图形状在第二范围内和所述第一信息库中的参考层版图形状相同，则判断所述预警点的OPC模拟值是否和所述第一信息库中的OPC模拟值中相同；

如果述预警点的OPC模拟值和所述第一信息库中的OPC模拟值中相同，则判断所述预警点的OPC修正后的值是否和所述第一信息库中的OPC修正后的值相同；

如果所述预警点的OPC修正后的值和所述第一信息库中的OPC修正后的值相同，则认为所述预警点为第二低风险点，多个所述第二风险点形成所述第二信息库。

2.如权利要求1所述的绿色版图的认证方法，其特征在于，如果预警点的当前层的版图形状在第一范围内和所述第一信息库中的当前层版图形状不相同或者预警点的参考层的版图形状在第二范围内和所述第一信息库中的参考层版图形状不相同或者预警点的OPC模拟值和所述第一信息库中的OPC模拟值中不相同或者预警点的OPC修正后的值和所述第一信息库中的OPC修正后的值不相同，则该预警点需要人工判断是否为第二低风险点。

3.如权利要求1所述的绿色版图的认证方法，其特征在于，所述第一范围为当前层的设计规则的3倍～5倍。

4.如权利要求1所述的绿色版图的认证方法，其特征在于，所述第二范围为参考层的设计规则的2倍～3倍。

5.如权利要求1所述的绿色版图的认证方法，其特征在于，所述OPC模拟值的判断精度为1格点～3格点。

6.如权利要求1所述的绿色版图的认证方法，其特征在于，所述OPC修正后的值的判断规格为设计规则的1/100～1/50。

7.如权利要求1所述的绿色版图的认证方法，其特征在于，所述第一信息库包括多个所述当前层的版图形状、多个参考层的版图形状、多个OPC模拟值和多个OPC修正后的值。

8.如权利要求1所述的绿色版图的认证方法，其特征在于，多个所述第二风险点形成所述第二信息库的方法包括：将第二风险点进行绿色标示，并且放入绿色信息库中，形成第二信息库。

9.一种预警点的风险性的判断方法，用于判断待出版的版图的OPC预警点是否为低风险点，其特征在于，对同一类产品的待出版版图的预警点进行扫描，判断所述待出版版图的预警点是否与权利要求1～8任一项所述绿色版图的认证方法形成的第二信息库中的预警点是否一致，如果一致，则认为待出版的版图的OPC预警点为低风险点，直接放行。

10.如权利要求9所述的预警点的风险性的判断方法，其特征在于，如果不一致，则进行人工判断待出版的版图的OPC预警点是否为低风险点。