[发明专利]一种零部件加工用均匀镀膜设备及其使用方法

权利要求书

1.一种零部件加工用均匀镀膜设备，包括镀膜加工台（1），其特征在于：所述镀膜加工台（1）的上端设置有真空镀膜腔体（2），所述镀膜加工台（1）的一侧设置有预处理台（5），所述预处理台（5）的内部设置有电源箱（6）和收料架（7），所述收料架（7）的上端设置有打磨基板（8），所述打磨基板（8）的上端设置有打磨机（9），所述打磨基板（8）的内部设置有检测框架（16），且检测框架（16）与打磨基板（8）一体成型设置，所述检测框架（16）的内部设置有摆放凹槽（17），且摆放凹槽（17）与检测框架（16）一体成型设置，所述摆放凹槽（17）的上方设置有活动检测板（18），所述活动检测板（18）的两端外壁上均设置有密封挡板（20），且密封挡板（20）与检测框架（16）的内壁紧密贴合，所述检测框架（16）的两侧内壁上均设置有定位轨道（21），且定位轨道（21）与检测框架（16）一体成型设置，所述活动检测板（18）的两端均设置有承载内槽（23），且承载内槽（23）与活动检测板（18）一体成型设置，所述活动检测板（18）的上端设置有推板（19），且推板（19）与活动检测板（18）一体成型设置，所述承载内槽（23）的内部设置有传动滚轮（22），且传动滚轮（22）与定位轨道（21）的内壁滚动连接，所述传动滚轮（22）的两端均设置有连接轴（24），且连接轴（24）与传动滚轮（22）一体成型设置，所述承载内槽（23）的两侧内壁上均设置有轴承固定槽（26），且轴承固定槽（26）与承载内槽（23）一体成型设置，所述轴承固定槽（26）的内部设置有轴承（25），且连接轴（24）通过轴承（25）与承载内槽（23）活动连接。

2.根据权利要求1所述的一种零部件加工用均匀镀膜设备，其特征在于：所述真空镀膜腔体（2）的内部设置有两个负极电极板（11），两个所述负极电极板（11）之间设置有镀膜靶材（10），所述镀膜靶材（10）的上端设置有发射电极（12），所述发射电极（12）的上端设置有冷却水循环机构（13）。

3.根据权利要求2所述的一种零部件加工用均匀镀膜设备，其特征在于：所述镀膜靶材（10）的正下方设置有正极电极板（15），且负极电极板（11）和正极电极板（15）均设置在真空镀膜腔体（2）的内部，所述正极电极板（15）的上端设置有零部件基片（14），且零部件基片（14）位于镀膜靶材（10）的正下方。

4.根据权利要求3所述的一种零部件加工用均匀镀膜设备，其特征在于：所述真空镀膜腔体（2）的前端面上设置有密闭前盖（3），且密闭前盖（3）与真空镀膜腔体（2）通过合页活动连接，所述真空镀膜腔体（2）的上端设置有真空泵组（4），且真空泵组（4）的抽气端与真空镀膜腔体（2）的内部连通设置。

5.根据权利要求4所述的一种零部件加工用均匀镀膜设备，其特征在于：所述收料架（7）的内部设置有两个加固挡板（27），且两个加固挡板（27）与收料架（7）一体成型设置，两个加固挡板（27）之间设置有四个成品摆放平台（28），且四个成品摆放平台（28）的两端均与加固挡板（27）的内壁焊接连接。

6.根据权利要求5所述的一种零部件加工用均匀镀膜设备的使用方法，其特征在于：包括如下步骤：

步骤1：将需要进行镀膜加工处理零部件基片（14）放置到打磨基板（8）内部的摆放凹槽（17），摆放凹槽（17）的口径为零部件基片（14）的标准尺寸，通过摆放凹槽（17）对零部件基片（14）的尺寸进行合格检测；

步骤2：通过推动推板（19）将活动检测板（18）移动到放有零部件基片（14）的摆放凹槽（17）上端，根据零部件基片（14）是否能放入摆放凹槽（17）中并完全盖上活动检测板（18）来判断零部件基片（14）的整体结构是否匀称符合标准；

步骤3：活动检测板（18）在检测框架（16）中活动时，活动检测板（18）两端承载内槽（23）中的传动滚轮（22）在定位轨道（21）中滚动行进，从而降低活动检测板（18）移动时的摩擦力，提高了检测操作的流畅性；

步骤4：若是零部件基片（14）无法放入摆放凹槽（17）中且不能完全盖上活动检测板（18），则零部件基片（14）的匀称性不合格，需要放在打磨基板（8）上通过打磨机（9）对零部件基片（14）进行打磨加工，直到零部件基片（14）能完全放入摆放凹槽（17）中并完全盖上活动检测板（18）；

步骤5：零部件基片（14）加工合格后放入真空镀膜腔体（2）中并盖上密闭前盖（3）开始镀膜加工，真空泵组（4）对真空镀膜腔体（2）的内部抽真空，发射电极（12）利用电子镀膜靶材（10）使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来；

步骤6：原子团或离子在负极电极板（11）和正极电极板（15）的作用下，由负极流向正极，最终沉积在零部件基片（14）表面，经历成膜过程，最终形成薄膜，由于零部件基片（14）的表面被打磨的光滑匀称，因此沉积在零部件基片（14）表面的原子团或离子可以均匀的附着成膜；

步骤7：将镀膜完成后的零部件基片（14）成品放置到收料架（7）内部的成品摆放平台（28）上，从而对成品进行收集摆放，完成零部件加工用均匀镀膜设备的使用工作。