[发明专利]模块化封装结构及方法在审
申请号: | 202010835894.1 | 申请日: | 2020-08-19 |
公开(公告)号: | CN111900155A | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
发明(设计)人: | 张凯;曹立强;耿菲 | 申请(专利权)人: | 上海先方半导体有限公司;华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L25/16 | 分类号: | H01L25/16;H01L23/367;H01L23/31;H01L21/50 |
代理公司: | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人: | 张东梅 |
地址: | 200000 上海市浦东新区自*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 模块化 封装 结构 方法 | ||
本发明提供了一种模块化封装结构及方法,包括:堆叠布置的至少一个第一模块,均包括相互背对布置的第一芯片及第二芯片,所述第一芯片电性引出至所述第一模块的第一表面和/或第二表面,所述第二芯片电性引出至所述第一模块的第一表面和/或第二表面;附连于所述第一模块上的第二模块,其包括第三芯片,所述第三芯片电性引出至所述第二模块的第一表面和/或第二表面;所述第二模块与第一模块电性连接。
技术领域
本发明涉及半导体封装技术领域,特别涉及一种模块化封装结构及方法。
背景技术
现有的异质基板集成结构的制备方法,一般通过多层异质基板和有机金属布线层进行线路布置和信号互连,然后将多个功能芯片贴于一面,通过空间折叠的形式实现立体式的三维集成。该方法由于采用多层异质基板和有机金属布线层,所以在三维折叠后Z方向上的尺寸会很大,这对当前需要的小尺寸来说,缩小X、Y方向的同时大大增加Z方向上的尺寸厚度,这无法有效的减小结构件的封装体积,提高微系统集成度。而且在工作时,由于多芯片导致发热量较大,因此,其折叠弯曲处的多层异质基板和有机布线层容易因此而老化损坏。
发明内容
本发明的目的在于提供一种模块化封装结构及方法,以解决现有的异质集成结构集成度较低的问题。
为解决上述技术问题,本发明提供一种模块化封装结构,包括:
堆叠布置的至少一个第一模块,均包括相互背对布置的第一芯片及第二芯片,所述第一芯片电性引出至所述第一模块的第一表面和/或第二表面,所述第二芯片电性引出至所述第一模块的第一表面和/或第二表面;
附连于所述第一模块上的第二模块,其包括第三芯片,所述第三芯片电性引出至所述第二模块的第一表面和/或第二表面;
所述第二模块与第一模块电性连接。
可选的,在所述的模块化封装结构中,
所述第一芯片为射频系统数字芯片,用于产生、放大和处理数字信号;
所述第二芯片为射频收发芯片,用于放大、移相和衰减射频信号;
所述第三芯片为天线模块,用于传输和接收射频信号。
本发明还提供一种模块化封装方法,包括:
形成至少一个第一模块并将至少一个第一模块堆叠布置,将第二模块附连至所述第一模块上;
所述第一模块通过以下步骤制备:
形成将第一芯片电性引出的第一附连结构,将所述第一芯片附连至第一附连结构;
将第二芯片布置为与所述第一芯片相互背对;
形成将所述第二芯片电性引出的第二附连结构,第二附连结构附连至所述第二芯片;
所述第二模块通过以下步骤制备:
形成将第三芯片电性引出的第三附连结构,将所述第三芯片附连至第三附连结构;
所述第三附连结构与一个或多个所述第一附连结构和/或所述第二附连结构电性连接。
可选的,在所述的模块化封装方法中,形成将第一芯片电性引出的第一附连结构,将所述第一芯片附连至第一附连结构包括:
在载片上形成第一粘合层,在所述第一粘合层上依次形成相互电性连接的第一焊盘、第一重布线层及第一导电柱;
第一芯片的焊盘附连至所述第一重布线层。
可选的,在所述的模块化封装方法中,形成将第一芯片电性引出的第二附连结构,第二附连结构附连至所述第二芯片包括:
在第一芯片上上形成第二粘合层,
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