[发明专利]一种粉末样品的高真空封装装置

说明书

本发明提供一种粉末样品的高真空封装装置，包括真空回路、高真空支路、第一换向装置以及第二真空规管，真空回路中连接有真空泵、缓冲主路、止回阀和石英安瓿，缓冲主路连接有节气阀和缓冲室，石英安瓿用于盛放粉末样品；高真空支路连接有溅射离子泵和第一真空规管；第一换向装置连接真空回路和高真空支路，用于使高真空支路串联至真空泵和节气阀之间形成高真空回路、和/或使真空回路连通形成低真空回路，第一真空规管用于测量高真空回路中的真空度；第二真空规管用于测量低真空回路中的真空度。本发明提出的技术方案的有益效果是：实现把样品封装在石英安瓿里，同时使安瓿保持高真空状态，并且防止粉末样品在抽真空过程中的喷溢。

技术领域

本发明涉及封装装置技术领域，尤其涉及一种粉末样品的高真空封装装置。

背景技术

利用核反应堆对样品进行快中子照射是⁴⁰Ar/³⁹Ar法同位素年龄测试的重要步骤，在照射过程中，样品会因为快中子的冲击而释放出一定量的气体，这个过程被称为核反冲。实验证明颗粒越细，核反冲越强烈，粉末样品会产生严重的核反冲反应。因此，为了收集核反冲产生的气体，需要把粉末样品封装在石英安瓿里。由于大气对照射和样品的测试有强烈影响，因此在样品封装过程中，需要进行抽真空处理。而抽真空过程中要避免粉末样品的喷溢，因此需要有特殊的封装装置加以克服。

发明内容

有鉴于此，为解决上述问题，本发明的实施例提供了一种粉末样品的高真空封装装置。

本发明的实施例提供一种粉末样品的高真空封装装置，包括：

真空回路，所述真空回路中连接有真空泵、缓冲主路、止回阀和石英安瓿，所述缓冲主路连接有节气阀和缓冲室，所述石英安瓿用于盛放粉末样品；

高真空支路，所述高真空支路连接有溅射离子泵和第一真空规管；

第一换向装置，连接所述真空回路和高真空支路，用于使所述高真空支路串联至所述真空泵和节气阀之间形成高真空回路、和/或使所述真空回路连通形成低真空回路，所述第一真空规管用于测量所述高真空回路中的真空度；以及，

第二真空规管，用于测量所述低真空回路中的真空度。

进一步地，设有多个所述石英安瓿和多个所述止回阀，每一所述石英安瓿与每一所述止回阀串联形成安瓿支路，多个所述安瓿支路并联与所述缓冲室连接。

进一步地，所述石英安瓿与所述止回阀依次通过石英管道、石英玻璃过渡接头、玻璃管道连接。

进一步地，所述止回阀与所述缓冲室之间依次通过玻璃管道、金属玻璃过渡接头、金属管道连接。

进一步地，还包括第二换向装置，所述第二换向装置连接所述止回阀、所述缓冲主路和所述高真空支路，用于使所述止回阀与所述缓冲主路连接、或与所述高真空支路连接。

进一步地，所述止回阀和所述缓冲室之间连接有冷阱。

进一步地，第二真空规管为热偶真空规管。

进一步地，第一真空规管包括热偶真空规管和电离真空规管。

进一步地，所述低真空回路中连接有放气阀。

本发明的实施例还提供一种粉末样品的高真空封装方法，使用如上所述的粉末样品的高真空封装装置，包括如下步骤：

开启止回阀，利用第一换向装置使所述真空回路连通形成低真空回路，启动真空泵对石英安瓿进行低真空抽气；

当第二真空规管测量所述低真空回路中的真空度达到第一预设真空度时，利用第一换向装置使所述高真空支路串联至所述真空泵和节气阀之间形成高真空回路进行高真空抽气；