[发明专利]显示面板的应力测试装置及应力测试方法有效
申请号: | 202010844444.9 | 申请日: | 2020-08-20 |
公开(公告)号: | CN112037700B | 公开(公告)日: | 2022-12-06 |
发明(设计)人: | 蔡振飞 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | G09G3/00 | 分类号: | G09G3/00 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 吕姝娟 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 应力 测试 装置 方法 | ||
1.一种显示面板的应力测试装置,其特征在于,用于测试所述显示面板在弯折状态下所受到的应力,所述显示面板包括弯折区,所述应力测试装置包括数据处理单元、以及至少一个与所述数据处理单元电连接的测试用薄膜晶体管,所述测试用薄膜晶体管用于测量所述弯折区的应力,所述测试用薄膜晶体管设置于所述弯折区内,所述数据处理单元用于接收位于所述弯折区内的所述测试用薄膜晶体管的输出电流,并根据所述输出电流来计算所述显示面板在所述弯折区内所受的应力;
所述显示面板包括显示区和与所述显示区相邻的非显示区,所述显示面板包括衬底层,所述测试用薄膜晶体管设置于所述衬底层上且位于所述非显示区内;
所述测试用薄膜晶体管包括:
栅极金属层,设置于所述衬底层上,所述栅极金属层包括栅极和与所述栅极连接的栅极信号输入端;
有源层,设置于所述衬底层上;
栅极绝缘层,设置于所述衬底层上,所述栅极绝缘层设置于所述栅极金属层与所述有源层之间;
层间介质层,设置于所述衬底层、所述有源层和所述栅极金属层上;以及
源漏极层,设置于所述层间介质层上,包括源极、漏极、连接所述源极的信号输入端、以及连接所述漏极的电流收集端,所述有源层两端分别与所述源极和所述漏极连接,其中,所述电流收集端与所述数据处理单元连接。
2.根据权利要求1所述显示面板的应力测试装置,其特征在于,所述显示面板包括至少一条位于所述弯折区内的弯折轴线,任一条所述弯折轴线处至少对应设有一所述测试用薄膜晶体管。
3.根据权利要求2所述显示面板的应力测试装置,其特征在于,一条所述弯折轴线处对应设有一个所述测试用薄膜晶体管,所述测试用薄膜晶体管中的所述有源层以所述弯折轴线作为对称轴设置于所述衬底层上。
4.根据权利要求2所述显示面板的应力测试装置,其特征在于,一条所述弯折轴线处对应设有多个所述测试用薄膜晶体管,多个所述测试用薄膜晶体管中的所述有源层以所述弯折轴线作为对称轴设置于所述衬底层上。
5.根据权利要求1所述显示面板的应力测试装置,其特征在于,所述栅极金属层还包括设置于所述衬底层上的桥接走线,所述电流收集端通过所述桥接走线与所述数据处理单元连接。
6.根据权利要求5所述显示面板的应力测试装置,其特征在于,所述层间介质层上设有过孔,所述桥接走线一端穿过所述过孔与所述电流收集端连接,所述桥接走线另一端与所述数据处理单元连接。
7.一种显示面板的应力测试方法,其特征在于,采用根据权利要求1至6中的任一项所述显示面板的应力测试装置来测试所述显示面板所受的应力,包括以下步骤:
使所述显示面板处于弯折状态,驱动所述测试用薄膜晶体管,并检测所述弯折区内的所述测试用薄膜晶体管的输出电流;
根据所述输出电流计算所述显示面板在所述弯折区所受的应力。
8.根据权利要求7所述显示面板的应力测试方法,其特征在于,驱动所述测试用薄膜晶体管的步骤包括:在所述源漏极层的所述信号输入端输入数据信号,在所述栅极金属层的所述栅极信号输入端输入驱动信号。
9.根据权利要求7所述显示面板的应力测试方法,其特征在于,所述根据所述输出电流计算所述显示面板在所述弯折区所受的应力,包括计算所述显示面板在所述弯折区所受的应力σ:
σ=2Ids/K1*cox(W/L)(Vgs-Vth)2
其中,Ids为所述输出电流,K1为比例系数,cox为单位栅氧电容,W/L为所述测试用薄膜晶体管沟道的宽长比,Vgs为栅极和源极之间的电压,Vth为所述测试用薄膜晶体管的阈值电压。
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