[发明专利]一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速方法及真空气囊在审
| 申请号： | 202010849040.9 | 申请日： | 2020-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN112030131A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 叶飞;刘晓萌 | 申请（专利权）人： | 无锡爱尔华光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 顾吉云;黄莹 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 生产线 空腔 提速 方法 真空 气囊 | ||
1.一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速方法，其包括以下步骤：
S1：将放置待镀膜基片的基片承载盘通过进出片腔体运传输至所述工艺发生腔体；
S2：对所述进出片腔体进行真空抽取；
其特征在于，其还包括以下步骤：
在步骤S2实施之前，实施以下步骤：
a1：预先按照所述进出片腔体的体积，准备本次需要使用的抽气提速用真空气囊；
a2：将所述真空气囊预先进行真空抽气；
a3：将内部处于真空状态所述真空气囊放入所述进出片腔体中。
2.根据权利要求1所述一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速方法，其特征在于：根据工艺需要，所述真空气囊放置于所述基片承载盘单侧或者双侧。
3.根据权利要求1所述一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速方法，其特征在于：根据所述待镀膜基片产能需要，通过更换不同体积的所述真空气囊，调整所述进出片腔体中需要抽气的空腔体积大小。
4.一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速用真空气囊，其特征在于，其包括：
内部为真空腔的气囊本体，所述气囊本体外形为矩形，所述气囊本体的侧壁上设置用于连接真空泵的预抽口。
5.根据权利要求4所述一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速用真空气囊，其特征在于：所述气囊本体的四周分布设置防滑块。
6.根据权利要求4所述一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速用真空气囊，其特征在于：所述气囊本体的材质为薄壁金属材质。
7.根据权利要求4所述一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速用真空气囊，其特征在于：所述气囊本体的壁厚的厚度范围为：2mm~3mm。
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