[发明专利]一种用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具

权利要求书

1.一种用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具，其特征在于：包括由金属制作的干涉仪固定组件(1)、镀膜窗口组件(4)和上保护罩(3)；

所述干涉仪固定组件(1)用于固定Sagnac型干涉仪组件(2)，包括夹具法兰盘(11)、楔块(12)、抵紧块(15)、调节支座(13)、调节螺杆(14)和柔性板(16)；

所述夹具法兰盘(11)的端面设置有溅射孔(112)，用于溅射蒸发源；

所述楔块(12)为两组，沿Y方向相对的设置在溅射孔(112)内，每组楔块(12)的倾斜角与半五角棱镜的张角一致，且其外侧面上设置有第一限位孔(122)；

所述抵紧块(15)沿X方向设置在夹具法兰盘(11)的上端面，其外侧面上设置有第二限位孔(151)；

所述调节支座(13)为三组，均固定设置在夹具法兰盘(11)上端面，其中两组沿Y方向设置，且位于楔块(12)的外侧，一组沿X方向设置，且位于抵紧块(15)的外侧；

所述调节螺杆(14)为三组，其一端伸入第一限位孔(122)和第二限位孔(151)内，与抵紧块(15)、楔块(12)配合，另一端穿过设置在调节支座(13)上的螺纹孔，与调节支座(13)螺纹连接；

所述柔性板(16)的底端设置在夹具法兰盘(11)上端面，顶端用于与干涉仪安装座(21)连接；

所述镀膜窗口组件(4)用于控制Sagnac型干涉仪组件(2)镀膜区域的大小及位置，包括四个窗口刃片，分别为第一窗口刃片(41)、第二窗口刃片(42)、第三窗口刃片(43)和第四窗口刃片(44)；四个窗口刃片依次首尾排布设置在溅射孔(112)内，且刃口与夹具法兰盘(11)的下端面呈一定夹角，使得镀膜区域在夹角范围内无遮挡；

所述上保护罩(3)设置在夹具法兰盘(11)的上端面，用于包裹Sagnac型干涉仪组件(2)，避免镀膜机内蒸发源溅射到干涉仪的其他表面。

2.根据权利要求1所述的用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具，其特征在于：所述楔块(12)与Sagnac型干涉仪组件(2)相配合的楔形面上设置有安装凸台(121)，避免划伤Sagnac型干涉仪组件(2)的工作面。

3.根据权利要求2所述的用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具，其特征在于：所述溅射孔(112)为方形台阶孔，且方形台阶孔的四个拐角处均设置有应力释放孔(113)，所述楔块(12)设置在方形台阶孔的大端，四个窗口刃片设置在方形台阶孔的小端。

4.根据权利要求1或2或3所述的用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具，其特征在于：四个窗口刃片的刃口与夹具法兰盘(11)下端面的夹角大于等于45°。

5.根据权利要求4所述的用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具，其特征在于：四个窗口刃片的刃口与夹具法兰盘(11)下端面的夹角为45°。

6.根据权利要求5所述的用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具，其特征在于：所述柔性板(16)为柔性L弯板，包括侧板和基板，所述基板上设置有第一腰形孔(162)，用于与夹具法兰盘(11)通过螺钉进行无应力连接，所述侧板上设置有第二腰形孔(161)，用于与干涉仪安装座(21)通过螺钉进行无应力连接。

7.根据权利要求6所述的用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具，其特征在于：还包括设置在夹具法兰盘(11)下端面的下保护罩(5)，所述下保护罩(5)用于包裹干涉仪安装座(21)，避免蒸发源溅射到干涉仪安装座(21)造成额外的杂散光。

8.根据权利要求7所述的用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具，其特征在于：所述调节螺杆(14)的末端设置为球形凸起(141)，用于与第一限位孔(122)、第二限位孔(151)相配合。

9.根据权利要求8所述的用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具，其特征在于：四个窗口刃片与溅射孔(112)通过止口配合，且通过螺钉与夹具法兰盘(11)固定连接。

10.根据权利要求9所述的用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具，其特征在于：所述夹具法兰盘(11)的外周面上设置有法兰盘止口(111)，用于与镀膜机的旋转盘配合固定。