[发明专利]一种用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具

说明书

本发明提供一种用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具，解决现有Sagnac型干涉仪组件存在制作周期长、成本高以及使用时存在调制度降低的问题。该镀膜夹具包括干涉仪固定组件、镀膜窗口组件和上保护罩；干涉仪固定组件中，夹具法兰盘的端面设置有溅射孔；楔块相对的设置在溅射孔内，且其外侧面上设置有第一限位孔；抵紧块设置在夹具法兰盘的上端面，且其外侧面上设置有第二限位孔；调节支座均固定设置在夹具法兰盘上端面，调节螺杆一端伸入第一限位孔和第二限位孔内，另一端穿过设置在调节支座上的螺纹孔，与调节支座螺纹连接；镀膜窗口组件包括四个窗口刃片，四个窗口刃片依次首尾排布设置在溅射孔内；上保护罩设置在夹具法兰盘的上端面。

技术领域

本发明属于光学镀膜领域，具体涉及一种用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具，用于实体Sagnac型横向剪切干涉仪组件两个半五角棱镜反射面镀膜时的固定。

背景技术

实体Sagnac型横向剪切干涉仪因具有高通量，能够实现大相对孔径、高灵敏度的干涉光谱探测，经常应用在空间调制型、时空联合调制型干涉光谱成像仪中，进而被广泛应用在航天、航空傅里叶变换型的遥感仪器中。

典型的Sagnac型干涉仪组件主要由干涉仪安装座、两个半五角棱镜玻璃件、上玻璃基板和下玻璃基板组成。两个半五角棱镜通过紫外光敏胶胶合为整体，并在上下表面分别粘接玻璃基板作为保护件，最后与干涉仪安装座通过环氧胶粘接，将其面形、剪切量、调制度指标测试合格后，集成在光谱成像仪中。

传统Sagnac型干涉仪组件的两个半五角棱镜反射面在胶合前已完成镀制内反射膜。镀膜合格后，进行测试、半五角棱镜胶合、测试、粘接玻璃基板、测试、干涉仪安装座粘接、测试工作等工序。此时，Sagnac型干涉仪的制作工序大于7道，制作周期大于1个月，若其中任何一道工序不合格，将造成零件报废，进而导致项目研制周期加长，成本增大。此外，Sagnac型干涉仪组件集成在光谱成像仪系统中后，存在因力学、热冲击、盐雾环境造成半五角棱镜反射面膜系脱落的情况，使得干涉仪调制度降低，进而导致光谱成像仪的传函下降，使用时需更换新的Sagnac型干涉仪组件。

发明内容

本发明的目的是解决现有Sagnac型干涉仪组件存在制作周期长、成本高以及使用时存在调制度降低的问题，提供一种用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具。

为实现上述目的，本发明通过以下技术方案来实现。

一种用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具，包括由金属制作的干涉仪固定组件、镀膜窗口组件和上保护罩；所述干涉仪固定组件用于固定Sagnac型干涉仪组件，包括夹具法兰盘、楔块、抵紧块、调节支座、调节螺杆和柔性板；所述夹具法兰盘的端面设置有溅射孔，用于溅射蒸发源；所述楔块为两组，沿Y方向相对的设置在溅射孔内，每组楔块的倾斜角与半五角棱镜的张角一致，且其外侧面上设置有第一限位孔；所述抵紧块沿X方向设置在夹具法兰盘的上端面，其外侧面上设置有第二限位孔；所述调节支座为三组，均固定设置在夹具法兰盘上端面，其中两组沿Y方向设置，且位于楔块的外侧，一组沿X方向设置，且位于抵紧块的外侧；所述调节螺杆为三组，其一端伸入第一限位孔和第二限位孔内，与抵紧块、楔块配合，另一端穿过设置在调节支座上的螺纹孔，与调节支座螺纹连接；所述柔性板的底端设置在夹具法兰盘上端面，顶端用于与干涉仪安装座连接；所述镀膜窗口组件用于控制Sagnac型干涉仪组件镀膜区域的大小及位置，包括四个窗口刃片，分别为第一窗口刃片、第二窗口刃片、第三窗口刃片和第四窗口刃片；四个窗口刃片依次首尾排布设置在溅射孔内，且刃口与夹具法兰盘的下端面呈一定夹角，使得镀膜区域在夹角范围内无遮挡；所述上保护罩设置在夹具法兰盘的上端面，用于包裹Sagnac型干涉仪组件，避免镀膜机内蒸发源溅射到干涉仪的其他表面。

进一步地，所述楔块与Sagnac型干涉仪组件相配合的楔形面上设置有安装凸台，避免划伤Sagnac型干涉仪组件的工作面。