[发明专利]一种晶圆储存盒放置夹紧机构

权利要求书

1.一种晶圆储存盒放置夹紧机构，包括横向输送机构(10)，其特征在于：所述横向输送机构(10)的移动块(11)的顶面上固定有延伸板(12)，延伸板(12)的端部顶面安装有缓冲板(13)，缓冲板(13)的顶面固定有上支撑架(20)，上支撑架(20)的顶板的边部顶面均固定有侧限位板(21)，晶圆储存盒(100)的下部处于四个侧限位板(21)之间，晶圆储存盒(100)压靠在上支撑架(20)的顶板的顶面上固定有的多个弹性块(1)的顶面上；

所述上支撑架(20)的中部支撑板(22)的底面中部固定有提升气缸(23)，提升气缸(23)的推杆穿过中间支撑板(22)的顶面并固定有推动柱(24)，推动柱(24)插套在上支撑架(20)的顶板的中部通孔(25)中，推动柱(24)的顶端伸出中部通孔(25)的顶面并固定有锥形块(26)，两个圆弧块体(27)处于锥形块(26)的两侧，锥形块(26)的外侧壁压靠在圆弧块体(27)的内锥形侧壁上，两个圆弧块体(27)的外侧壁的上部成型有定位弧形凸起部(271)，两个圆弧块体(27)的上部插套在晶圆储存盒(100)的底面中部成型有的定位孔(101)中，定位弧形凸起部(271)嵌套在定位孔(101)的内侧壁上成型有的弧形定位槽中，圆弧块体(27)的上部外侧壁压靠在定位孔(101)的内侧壁上。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒放置夹紧机构，其特征在于：所述上支撑架(20)的顶板的顶面上固定有圆环套体(28)，圆环套体(28)的左右两个内侧壁上均固定有弹簧(29)，两个弹簧(29)的相对一端均固定在对应的圆弧块体(27)的外侧壁上。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒放置夹紧机构，其特征在于：所述圆弧块体(27)的顶面固定有上弹性限位块(2)，上弹性限位块(2)的顶面紧贴定位孔(101)的顶面上。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒放置夹紧机构，其特征在于：所述中间支撑板(22)的中部顶面固定有导向套(3)，提升气缸(23)的推杆插套在导向套(3)中。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆储存盒放置夹紧机构，其特征在于：所述导向套(3)的内侧壁上固定有自润滑套(4)，提升气缸(23)的推杆的顶端成型有连接板，推动柱(24)的底端固定在连接板的顶面上，连接板的外侧壁紧贴自润滑套(4)的内侧壁。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒放置夹紧机构，其特征在于：所述延伸板(12)的端部顶面固定有固定底板(14)，固定底板(14)的顶面固定有多个缓冲弹性块(15)，缓冲板(13)固定在所有缓冲弹性块(15)的顶面上。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒放置夹紧机构，其特征在于：所述横向输送机构(10)包括导向槽体(16)，导向槽体(16)中插套有横向移动螺杆(17)，横向移动螺杆(17)的两端通过轴承铰接在导向槽体(16)的左右两个端板上，其中一个端板的外侧壁上固定有移动电机(18)，移动电机(18)带动横向移动螺杆(17)转动，横向移动螺杆(17)上螺接有移动块(11)。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆储存盒放置夹紧机构，其特征在于：所述移动块(11)的底面固定有滑块(111)，导向槽体(16)的底板的顶面固定有导向条(161)，导向条(161)的上部插套在滑块(111)的底面中部成型有的滑槽中。