[发明专利]一种晶圆储存盒放置夹紧机构

说明书

本发明公开一种晶圆储存盒放置夹紧机构，包括横向输送机构，所述横向输送机构的移动块的顶面上固定有延伸板，延伸板的端部顶面安装有缓冲板，缓冲板的顶面固定有上支撑架，上支撑架的顶板的边部顶面均固定有侧限位板，晶圆储存盒的下部处于四个侧限位板之间，晶圆储存盒压靠在上支撑架的顶板的顶面上固定有的多个弹性块的顶面上。本发明可以保证将晶圆储存盒夹持固定，不容易移动，而且其缓冲效果好，大大降低其移动时产生的振动，保证移动稳定。

技术领域

本发明涉及半导体制作技术领域，更具体的说涉及一种晶圆储存盒放置夹紧机构。

背景技术

现有的光刻设备等一些晶圆加工设备中，其需要将晶圆多个放置的密封的储存盒中，然后，需要用输送小车或人工输送，需要将其放置在对应的安装台上，而为了保证后续设备抓取稳定等效果，需要将储存盒牢固固定在安装台上，现有的固定方式是在安装台上竖直多个定位柱，通过定位柱插入储存盒的底板上的定位孔中，其固定并不稳定，当受到轻微碰撞时，储存盒容易倾斜移动。

发明内容

本发明的目的就是针对现有技术之不足，而提供一种晶圆储存盒放置夹紧机构，它可以保证将晶圆储存盒夹持固定，不容易移动，而且其缓冲效果好，大大降低其移动时产生的振动，保证移动稳定。

本发明的技术解决措施如下：

一种晶圆储存盒放置夹紧机构，包括横向输送机构，所述横向输送机构的移动块的顶面上固定有延伸板，延伸板的端部顶面安装有缓冲板，缓冲板的顶面固定有上支撑架，上支撑架的顶板的边部顶面均固定有侧限位板，晶圆储存盒的下部处于四个侧限位板之间，晶圆储存盒压靠在上支撑架的顶板的顶面上固定有的多个弹性块的顶面上；

所述上支撑架的中部支撑板的底面中部固定有提升气缸，提升气缸的推杆穿过中间支撑板的顶面并固定有推动柱，推动柱插套在上支撑架的顶板的中部通孔中，推动柱的顶端伸出中部通孔的顶面并固定有锥形块，两个圆弧块体处于锥形块的两侧，锥形块的外侧壁压靠在圆弧块体的内锥形侧壁上，两个圆弧块体的外侧壁的上部成型有定位弧形凸起部，两个圆弧块体的上部插套在晶圆储存盒的底面中部成型有的定位孔中，定位弧形凸起部嵌套在定位孔的内侧壁上成型有的弧形定位槽中，圆弧块体的上部外侧壁压靠在定位孔的内侧壁上。

所述上支撑架的顶板的顶面上固定有圆环套体，圆环套体的左右两个内侧壁上均固定有弹簧，两个弹簧的相对一端均固定在对应的圆弧块体的外侧壁上。

所述圆弧块体的顶面固定有上弹性限位块，上弹性限位块的顶面紧贴定位孔的顶面上。

所述中间支撑板的中部顶面固定有导向套，提升气缸的推杆插套在导向套中。

所述导向套的内侧壁上固定有自润滑套，提升气缸的推杆的顶端成型有连接板，推动柱的底端固定在连接板的顶面上，连接板的外侧壁紧贴自润滑套的内侧壁。

所述延伸板的端部顶面固定有固定底板，固定底板的顶面固定有多个缓冲弹性块，缓冲板固定在所有缓冲弹性块的顶面上。

所述横向输送机构(10)包括导向槽体，导向槽体中插套有横向移动螺杆，横向移动螺杆的两端通过轴承铰接在导向槽体的左右两个端板上，其中一个端板的外侧壁上固定有移动电机，移动电机带动横向移动螺杆转动，横向移动螺杆上螺接有移动块。

所述移动块的底面固定有滑块，导向槽体的底板的顶面固定有导向条，导向条的上部插套在滑块的底面中部成型有的滑槽中。

本发明的有益效果在于：其可以保证将晶圆储存盒夹持固定，不容易移动，而且其缓冲效果好，大大降低其移动时产生的振动，保证移动稳定。

附图说明

图1为本发明的局部剖视图；

图2为图1的局部放大图；

图3为本发明的两个圆弧块体之间的局部仰视图。