[发明专利]一种高速全自动真空退火封焊机

说明书

本发明公开了一种高速全自动真空退火封焊机，包括机架，机架上沿X方向依次设置有真空退火机构，后密封门机构、倒手机构、料盘缓存及移载机构、预焊机构、长边封焊机构、左缓存室机构、短边封焊机构，右缓存室机构和收纳机构；真空退火机构包括真空退火室单元退火室弹匣单元和冷却水单元，退火室弹匣单元安装在真空退火室单元内，退火室弹匣单元为双弹匣机构。本设备将产品经过退火炉的真空高温退火处理后，增加产品的频率的稳定性，再基于画像系统将上盖在N2环境中预焊到PKG上，然后采用平行封焊法将上盖和PKG进行全自动气密封装，最后两条边的封焊在高真空状态下进行，并采用高精度视觉判断系统，增加了精度和可靠性。

技术领域

本发明属于微电子器件生产技术领域，具体涉及一种高速全自动真空退火封焊机。

背景技术

当今科学技术进入了数码时代，数码电子产品的迅猛发展，直接带动了电子器件制造的快速发展，同时也对电子器件制造提出了越来越高的要求，封焊机是电子器件制造厂应用较多的核心设备之一，其性能直接影响到电子器件的品质，传统的封焊机生产效率低，封焊精度差，生产小尺寸产品时性能不稳定，为了改变上述情况，迫切需要研发一款成本低、品质高、性能稳定的自动化设备，即一种高速全自动真空退火封焊机

发明内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本发明提供了一种高速全自动真空退火封焊机。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种高速全自动真空退火封焊机，包括机架，机架上沿X方向依次设置为真空退火机构，后密封门机构、倒手机构、料盘缓存及移载机构、预焊机构、长边封焊机构、左缓存室机构、短边封焊机构，右缓存室机构和收纳机构；真空退火机构包括真空退火室单元退火室弹匣单元和冷却水单元，退火室弹匣单元安装在真空退火室单元内，退火室弹匣单元为双弹匣机构。

优选的，后密封门机构包括防掉落单元、密封门上下移动单元、密封门压紧单元和前置立板单元，防掉落单元和密封门上下移动单元安装在所述前置立板单元上，密封门压紧单元安装在密封门上下移动单元上，防掉落单元为气缸结构，密封门上下移动单元为无杆气缸结构，密封门压紧单元为气缸结构。

优选的，倒手机构包括一级倒手单元、二级倒手单元、三级倒手单元和四级倒手单元，倒手单元为电机、同步带轮和同步带结构。

优选的，料盘缓存及移载机构包括缓存弹匣单元、拉盘单元、Z向移载单元、Y向移载单元和X向移载单元，Y向移载单元和缓存提篮单元安装在X向移载单元上，Z向移载单元安装在Y向移载单元，拉盘单元安装在Z向移载单元上，缓存弹匣单元为双弹匣结构，Z向移载单元、Y向移载单元和X向移载单元为电机直线模组结构。

优选的，所述预焊机构包括料斗单元、归正单元、下CCD单元、预焊载盘单元、上CCD单元、点焊单元、移载单元和横移单元，点焊单元和上CCD单元安装在移载单元上方，归正单元为电机凸轮结构，预焊载盘单元为电机直线模组和轴承结构，移载单元为直线电机结构，点焊单元为负压吸嘴结构和恒重加压结构，横移机构为电机直线模组、齿轮齿条和中空电机结构。

优选的，所述长边封焊机构包括电极移载单元、移载支撑单元、第一封焊电极单元、封焊载盘单元和载盘支撑单元，第一封焊电极单元安装在电极移载单元上，电极移载单元安装在移载支撑单元上，封焊载盘单元安装在载盘支撑单元上，电极移载单元为电机直线模组结构，第一封焊电极单元为凸轮和恒重加压结构，封焊载盘单元为电机直线模组和气缸结构。

优选的，左缓存室机构包括连接板单元、推盘单元和左低真空室单元，连接板单元安装在左低真空室单元侧面，推盘单元安装在左低真空室单元内，推盘单元为电机、同步带轮、同步带和气缸结构组成。