[发明专利]高频特性检查装置、以及高频特性检查方法

权利要求书

1.一种高频特性检查装置，检查基板的高频特性，其特征在于，具有：

检查夹具，其能够移动，且具有用于从所述基板的主表面侧检查所述基板的多个检查探针；

摄像部，其对所述基板的主表面侧进行拍摄；

基板保持器，其保持所述基板，且能够至少相对于所述基板的主表面平行地移动；

控制部，其基于所述摄像部拍摄到的图像，至少使所述基板保持器移动，从而使所述检查探针与所述基板接触；

所述控制部使所述基板保持器相对于所述基板的主表面平行地移动，在进行了所述基板相对于所述检查夹具的定位后，使所述检查夹具与所述基板保持器相对地在所述主表面的垂直方向上移动，从而使所述检查探针与所述基板接触。

2.如权利要求1所述的高频特性检查装置，其特征在于，

所述检查夹具包括：在所述基板的第一主表面侧配置的第一检查夹具、以及在与所述第一主表面侧相反一侧的第二主表面侧配置的第二检查夹具，

所述摄像部包括：对所述第一主表面侧的基板图案进行拍摄的第一摄像部、以及对所述第二主表面侧的基板图案进行拍摄的第二摄像部，

所述控制部基于所述第一摄像部及所述第二摄像部拍摄到的所述基板图案，使所述基板保持器相对于所述基板的主表面平行地移动，进行所述基板相对于所述检查夹具的定位，

所述控制部使所述第一检查夹具及所述第二检查夹具与所述基板保持器相对地在所述垂直方向上移动，从而使多个所述检查探针与所述基板接触。

3.如权利要求2所述的高频特性检查装置，其特征在于，

所述第二检查夹具能够相对于所述基板的主表面平行地移动，

所述控制部基于所述第二摄像部拍摄到的所述基板图案，使所述第二检查夹具相对于所述基板的主表面平行地移动，进行所述第二检查夹具相对于所述基板的定位，

所述控制部使所述基板保持器在所述垂直方向上移动，从而使所述第二检查夹具的多个所述检查探针与所述基板接触，

所述控制部使所述第一检查夹具在所述垂直方向上移动，从而使所述第一检查夹具的多个所述检查探针与所述基板接触。

4.如权利要求2或3所述的高频特性检查装置，其特征在于，

所述第一主表面为所述基板上侧的主表面，所述第二主表面为所述基板下侧的主表面。

5.如权利要求2至4中任一项所述的高频特性检查装置，其特征在于，

所述第一检查夹具的所述垂直方向的移动量为50mm以下。

6.如权利要求2至5中任一项所述的高频特性检查装置，其特征在于，

所述第二检查夹具的相对于所述基板的主表面平行的方向上的移动量为5mm以下，与所述基板的主表面平行的面上的角度方向的移动量为3°(度)以下。

7.如权利要求1至6中任一项所述的高频特性检查装置，其特征在于，

多个所述检查探针利用检查电缆，与检查所述基板的高频特性的分析装置连接，

所述检查电缆为同轴电缆。

8.一种高频特性检查方法，为高频特性检查装置的高频特性检查方法，该高频特性检查装置检查基板的高频特性，具有：

检查夹具，其能够移动，且具有用于从所述基板的主表面侧检查所述基板的多个检查探针；

摄像部，其对所述基板的主表面侧进行拍摄；

基板保持器，其保持所述基板，且能够至少相对于所述基板的主表面平行地移动；

控制部，其基于所述摄像部拍摄到的图像，至少使所述基板保持器移动，从而使所述检查探针与所述基板接触；

所述高频特性检查方法的特征在于，

所述控制部使所述基板保持器相对于所述基板的主表面平行地移动，在进行了所述基板相对于所述检查夹具的定位后，使所述检查夹具与所述基板保持器相对地在所述主表面的垂直方向上移动，从而使所述检查探针与所述基板接触。