[发明专利]高频特性检查装置、以及高频特性检查方法

说明书

本发明提供高频特性检查装置以及高频特性检查方法，将检查探针与基板自动连接，适当地检查高频特性。高频特性检查装置为检查基板的高频特性的高频特性检查装置，具有：检查夹具，其能够移动，且具有用于从基板的主表面侧检查基板的多个检查探针；摄像部，其对基板的主表面侧进行拍摄；基板保持器，其保持基板，且能够至少相对于基板的主表面平行地移动；控制部，其基于摄像部拍摄到的图像，至少使基板保持器移动，从而使检查探针与基板接触；控制部使基板保持器相对于基板的主表面平行地移动，在进行了基板相对于检查夹具的定位后，使检查夹具与基板保持器相对地在主表面的垂直方向上移动，从而使检查探针与基板接触。

技术领域

本发明涉及高频特性检查装置、以及高频特性检查方法。

背景技术

在检查基板的现有检查装置中，存在进行电路图案的导通/绝缘检查的装置，其不测量基板的高频特性。另外，作为测量基板的高频特性的技术，已知利用非接触式电磁感应探针方法的、简单进行检查的技术(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：(日本)特开平11-44724号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

然而，在上述现有技术中，其利用非接触式电磁感应探针方法，简单地进行检查，难以将检查探针与所检查的基板自动连接，检查高频特性。

本发明为了解决上述问题，提供高频特性检查装置、以及高频特性检查方法，其目的在于能够将检查探针与基板自动连接，适当地检查高频特性。

用于解决技术问题的技术方案

为了解决上述问题，本发明的一个方式为高频特性检查装置，其检查基板的高频特性，具有：检查夹具，其能够移动，且具有用于从所述基板的主表面侧检查所述基板的多个检查探针；摄像部，其对所述基板的主表面侧进行拍摄；基板保持器，其保持所述基板，且能够至少相对于所述基板的主表面平行地移动；控制部，其基于所述摄像部拍摄到的图像，至少使所述基板保持器移动，从而使所述检查探针与所述基板接触；所述控制部使所述基板保持器相对于所述基板的主表面平行地移动，在进行了所述基板相对于所述检查夹具的定位后，使所述检查夹具与所述基板保持器相对地在所述主表面的垂直方向上移动，从而使所述检查探针与所述基板接触。

另外，本发明的一个方式为高频特性检查装置的高频特性检查方法，该高频特性检查装置检查基板的高频特性，具有：检查夹具，其能够移动，且具有用于从所述基板的主表面侧检查所述基板的多个检查探针；摄像部，其对所述基板的主表面侧进行拍摄；基板保持器，其保持所述基板，且能够至少相对于所述基板的主表面平行地移动；控制部，其基于所述摄像部拍摄到的图像，至少使所述基板保持器移动，从而使所述检查探针与所述基板接触；所述控制部使所述基板保持器相对于所述基板的主表面平行地移动，在进行了所述基板相对于所述检查夹具的定位后，使所述检查夹具与所述基板保持器相对地在所述主表面的垂直方向上移动，从而使所述检查探针与所述基板接触。

发明效果

根据本发明，能够将检查探针与基板自动连接，适当地检查高频特性。

附图说明

图1是表示本实施方式的高频特性检查装置的结构例的图。

图2是表示本实施方式的高频特性检查装置的一个例子的功能块图。

图3是说明本实施方式的检查夹具及基板保持器的移动动作的一个例子的图。

图4是表示本实施方式的高频特性检查装置的动作的一个例子的流程图。

图5是表示本实施方式的高频特性检查装置的动作的另一个例子的流程图。

具体实施方式