[发明专利]一种用于集成电路封装生产线的机械手有效
申请号: | 202010856573.X | 申请日: | 2020-08-24 |
公开(公告)号: | CN111968939B | 公开(公告)日: | 2022-10-21 |
发明(设计)人: | 肖燕;许斌 | 申请(专利权)人: | 庞超 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 浙江永智汇鼎知识产权代理有限公司 33452 | 代理人: | 余文祥 |
地址: | 321000 浙江省金华市婺城*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 集成电路 封装 生产线 机械手 | ||
1.一种用于集成电路封装生产线的机械手,包括定位板,其特征在于:所述定位板的左右两端侧壁上分别设置有横向移动结构,所述横向移动结构上设置有竖向移动结构,所述竖向移动结构的滑板通过感应结构与夹持板连接,所述感应结构包括设置于滑板上的压力传感器和若干弹簧,所述弹簧远离滑板的一端与安装框连接,所述安装框与L形的夹持板转动连接,所述滑板上对应每个弹簧的位置分别设置有导向杆,所述导向杆滑动贯穿安装框的一侧侧壁,所述导向杆滑动贯穿对应位置的弹簧,且安装框的宽度大于导向杆的长度,所述安装框内侧壁还设置有齿轮箱,所述齿轮箱的外壁设置有伺服电机,所述伺服电机的输出轴与齿轮箱的输入轴连接,所述齿轮箱的输出端与夹持板的转轴连接;
所述夹持板为内部中空的竖板,所述夹持板侧面底部开口,位于所述夹持板内部设置有横向延伸机构;
所述横向延伸机构包括缠绕于夹持板内部转动连接的收卷轴上的橡胶垫,所述橡胶垫内侧由一端与夹持板内部滑动连接的支杆支撑,所述支杆与双向丝杆 螺纹连接;
所述橡胶垫形状为波浪形,位于橡胶垫内固定连接有骨架,所述骨架包括沿橡胶垫宽度方向的横杆,位于所述横杆下方转动连接有锁杆。
2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路封装生产线的机械手,其特征在于,所述夹持板的夹持面均匀的设置有一层橡胶垫。
3.根据权利要求2所述的一种用于集成电路封装生产线的机械手,其特征在于,所述横向移动结构包括设置于定位板侧壁上的定位槽、L型的第一支撑板和第一滑杆,且第一滑杆远离定位板的一端与第一支撑板连接,所述定位槽内设置有第一气缸,所述第一气缸的输出轴与安装板连接,所述第一滑杆滑动贯穿安装板。
4.根据权利要求3所述的一种用于集成电路封装生产线的机械手,其特征在于,所述竖向移动结构包括设置于安装板上的第二支撑板、第二气缸和第二滑杆,所述第二气缸的输出轴与滑板连接,所述第二滑杆滑动贯穿滑板。
5.根据权利要求4所述的一种用于集成电路封装生产线的机械手,其特征在于,所述第一气缸、第二气缸、压力传感器、伺服电机分别与电控箱中的工控机电性连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造