[发明专利]表面缺陷检测系统和检测方法

说明书

本申请提供了一种表面缺陷检测系统和检测方法，该检测系统包括：检测平台，其入口端用于与上一工序设备输出线对接，其出口端用于与下一工序设备输入线对接；检测平台上安装有传动滚轮组，用于传送样品；蒸汽喷淋部，其位于检测平台的入口端，用于将蒸汽喷涂至样品以在样品表面形成雾膜；光源部，其用于提供照射光线；以及风刀部，其设置在检测平台的出口端的上游，用于干燥样品。利用该表面缺陷检测系统，能够从上一生产工序自动获取基板玻璃样品，且能够自动干燥检测合格的样品，并能够将干燥后的样品自动运送至下一生产工序以备使用，从而降低生产成本及安全风险。

技术领域

本发明涉及缺陷检测技术，尤其涉及一种表面缺陷检测系统和检测方法。

背景技术

基板玻璃是电子产品生产制造的原材料，其表面的洁净程度影响着电子产品的品质。例如，薄膜光伏基板玻璃工艺面的洁净程度就影响着薄膜光伏材料的溅射蒸镀品质。

为了保证基板玻璃表面的洁净程度符合后续工艺的要求，需要对基板玻璃表面进行缺陷检测。缺陷检测可以及时发现基板玻璃表面的污渍、油膜、刮痕等缺陷，从而有利于避免表面洁净程度不合格的基板玻璃进入下一生产工序。

现有的表面缺陷检测系统需要将基板玻璃样品从生产线取出，并搬运至指定的检测区域进行蒸汽检测，该搬运过程费时、耗力不利于降低生产成本且容易造成安全风险。蒸汽检测需要将蒸汽喷涂至基板玻璃样品的待测面，在检测完成后，基板玻璃样品表面的残留雾膜无法及时清除，使得合格的基板玻璃样品也无法继续投入下一生产工序，只能进行报废处理，进一步地增加了生产成本。

发明内容

针对上述现有技术中的问题，本申请提出了一种表面缺陷检测系统和检测方法，该系统能够从上一生产工序自动获取基板玻璃样品，且能够自动干燥检测合格的样品，并能够将干燥后的样品自动运送至下一生产工序以备使用，从而降低生产成本及安全风险。

第一方面，本发明提供了一种表面缺陷检测系统，包括：检测平台，其入口端用于与上一工序设备输出线对接，其出口端用于与下一工序设备输入线对接；所述检测平台上安装有传动滚轮组，用于传送样品；蒸汽喷淋部，其位于所述检测平台的所述入口端，用于将蒸汽喷涂至所述样品以在所述样品表面形成雾膜；光源部，其用于提供照射光线；以及风刀部，其设置在所述检测平台的所述出口端的上游，用于干燥所述样品。利用该表面缺陷检测系统，能够从上一生产工序自动获取基板玻璃样品，且能够自动干燥检测合格的样品，并能够将干燥后的样品自动运送至下一生产工序以备使用，从而降低生产成本及安全风险。

在第一方面的一个实施方式中，所述光源部包括LED光源和支撑所述LED光源的光源支架，所述光源部位于所述检测平台远离检测人员的一侧。通过该实施方式，有利于检测人员观察样品的表面。

在第一方面的一个实施方式中，在竖直方向上，所述传动滚轮组靠近所述光源部的一侧高于所述传动管轮组远离所述光源部的一侧，以使所述传动滚轮组所在平面与水平面间形成轮夹角，所述轮夹角在0至45度之间。通过该实施方式，检测人员能够通过改变轮夹角调整观察角度，以更好地观察样品表面雾膜的附着情况，从而准确地判断样品表面的洁净度是否合格。

在第一方面的一个实施方式中，所述风刀部包括风刀和支撑所述风刀的风刀支架，所述风刀支架包括相对设置的第一支撑架和第二支撑架，所述第一支撑架位于所述检测平台安装有所述光源部的一侧，所述第二支撑架位于所述检测平台远离所述光源部的一侧，所述风刀连接在所述第一支撑架的顶端和所述第二支撑架的顶端之间；在样品传送方向上，所述第一支撑架位于所述第二支撑架上游，以使所述风刀在水平面的投影与样品宽度方向间形成第一风刀夹角，所述第一风刀夹角在15至30度之间，其中，所述样品宽度方向垂直于所述样品传送方向和竖直方向；在竖直方向上，所述第一支撑架高于所述第二支撑架，以使所述风刀与水平面间形成第二风刀夹角，所述第二风刀夹角在0至45度之间。通过该实施方式，检测人员能够通过调节第一风刀夹角和第二风刀夹角，使得风刀在吹扫干燥样品时，能够更加彻底地清除从样品顶端流下并汇聚在样品底端的水流或水珠。