[发明专利]一种超高真空样品转移腔在审
| 申请号： | 202010860212.2 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN114113657A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 董国材;张祥;梁枫 | 申请（专利权）人： | 国成仪器（常州）有限公司 |
| 主分类号： | G01N35/10 | 分类号： | G01N35/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 超高 真空 样品 转移 | ||
1.一种超高真空样品转移腔，包括：转移腔、辅助腔、传样磁力杆、摆动磁力杆、观察窗、离子泵、插板阀、进气阀、真空计组成，其特征在于，所述转移腔通过离子泵保持超高真空环境；
所述转移腔焊接有七根真空管路，所述真空管路真空管路的外侧设有能够与其他装置进行真空密封连接的真空法兰，包括第一法兰、第二法兰、第三法兰、第四法兰、第五法兰、第六法兰、第七法兰；所述辅助腔焊接有五根真空管路，所述真空管路真空管路的外侧设有能够与其他装置进行真空密封连接的真空法兰，包括第八法兰、第九法兰、第十法兰、第十一法兰、第十二法兰；
离子泵，与所述第一法兰相密封连接；
摆动磁力杆，与所述第二法兰密封连接；
所述第三法兰、第六法兰、第七法兰均密封连接一个观察窗；
传样磁力杆，与所述第四法兰密封连接；
插板阀，与所述第五法兰、第八法兰密封连接；
真空计，与所述第九法兰密封连接；
进气阀，与所述第十法兰密封连接；
所述第十一法兰与抽真空装置密封连接；
所述第十二法兰与样品制备系统连接。
2.根据权利要求1所述的超高真空样品转移设备，其特征在于：所述离子泵与配套的离子泵控制单元相连，由电源为其供电。
3.根据权利要求2所述的超高真空样品转移设备，其特征在于：所述转移腔还设置有储藏室，所述储藏室为用于存放样品的柱形腔体和控制样品移动的可升降样品台。
4.根据权利要求3所述的超高真空样品转移设备，其特征在于：设备还包括支架和提手。
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