[发明专利]一种超高真空样品转移腔

说明书

本发明公开了一种超高真空样品转移腔，包括：转移腔、辅助腔、传样磁力杆、摆动磁力杆、观察窗、离子泵、插板阀、进气阀、真空计组成，所述转移腔焊接有七根真空管路，所述真空管路真空管路的外侧设有能够与其他装置进行真空密封连接的真空法兰；所述辅助腔焊接有五根真空管路，所述真空管路的外侧设有能够与其他装置进行真空密封连接的真空法兰，所述传样磁力杆、摆动磁力杆、观察窗、离子泵、插板阀与转移腔连接；所述插板阀另一端与辅助腔法兰连接，所述真空计、进气阀与辅助腔法兰连接。这样能保证样品在超高真空系统间转移时一直处于超高真空环境中，防止外界对样品的污染，同时不会破坏设备的真空，便于操作。

技术领域

本发明涉及一种超高真空仪器，特别是一种超高真空样品转移腔。

背景技术

一般来说，超高真空设备系统由真空泵、真空计、真空腔体及其它元件并借助于真空管道，按一定要求组合而成。以保证在一定的空间内获得并保持特定真空环境(典型真空度好于1x10-9mbar)，确保某项工艺过程或物理过程在真空系统内实施。超高真空系统在半导体、机械加工、物理、化学、材料和生物科学等各个研究领域都有着广泛的应用。

样品在超高真空系统中制备完成后，为了保证其性质稳定，通常需要在不破坏超高真空的环境中进行测试和分析。目前，可以把样品制备与测试设备集成在一套超高真空系统中，该种系统一般包含机械手，可用于在腔内的某些特定位置转移样品，使样品的制备和测试都在同一超高真空环境中完成。然而，一套系统中能集成的测试设备是有限的，想要更全面的分析样品性质，就不得不将样品从某一真空系统取出，转移到其他超高真空系统中进行测试分析，这个过程不可避免的会接触空气和粉尘，造成样品污染。有的样品遇到空气甚至发生化学反应，成分和性质发生改变，样品完全被破坏。

人们想出了许多办法来保护样品，例如：先在真空腔内通入惰性气体做保护气，再将样品取出并快速放入干净的样品盒或真空箱中；或者先在样品上镀上一层保护膜再拿出等。但大都操作复杂，且每种方法都不能避免“开腔取样”这一操作步骤，使样品暴露于非真空的气体环境。一旦破坏了样品周围的真空环境，气体吸附到样品表面，都会一定程度的污染样品。

目前，还没有一种能够在不破坏超高真空环境的前提下，实现样品在不同超高真空系统间转移的便携式设备。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种超高真空样品转移腔，该设备可以保证样品从一套超高真空系统转移到另一套超高真空系统的过程中，样品时刻处于超高真空环境，同时不会破坏设备的真空，便于操作。

本发明的超高真空样品转移设备包括：包括：转移腔、辅助腔、传样磁力杆、摆动磁力杆、观察窗、离子泵、插板阀、进气阀、真空计组成，所述转移腔通过离子泵保持超高真空环境；

所述转移腔焊接有七根真空管路，所述真空管路真空管路的外侧设有能够与其他装置进行真空密封连接的真空法兰，包括第一法兰、第二法兰、第三法兰、第四法兰、第五法兰、第六法兰、第七法兰；所述辅助腔焊接有五根真空管路，所述真空管路真空管路的外侧设有能够与其他装置进行真空密封连接的真空法兰，包括第八法兰、第九法兰、第十法兰、第十一法兰、第十二法兰

离子泵，与所述第一法兰相密封连接；

摆动磁力杆，与所述第二法兰密封连接；

所述第三法兰、第六法兰、第七法兰均密封连接一个观察窗；

传样磁力杆，与所述第四法兰密封连接；

插板阀，与所述第五法兰、第八法兰密封连接；

真空计，与所述第九法兰密封连接；

进气阀，与所述第十法兰密封连接

优选地，所述离子泵与配套的离子泵控制单元相连，由电源为其供电。

优选地，所述转移腔还设置有储藏室，所述储藏室为用于存放样品的柱形腔体。

优选地，设备还包括支架和提手。