[发明专利]一种测量液晶透过波前的干涉仪在审
申请号: | 202010864875.1 | 申请日: | 2020-08-25 |
公开(公告)号: | CN111854984A | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 祝沛 | 申请(专利权)人: | 上海乾曜光学科技有限公司 |
主分类号: | G01J9/02 | 分类号: | G01J9/02;G01J9/00;G01M11/02 |
代理公司: | 上海助之鑫知识产权代理有限公司 31328 | 代理人: | 王风平 |
地址: | 201800 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 测量 液晶 透过 干涉仪 | ||
1.一种测量液晶透过波前的干涉仪,与待测的液晶板相对应,包括基座和安装在基座上的工控机;
其特征在于:
所述基座上设置有光路结构;
所述基座上安装有相机,相机连接工控机;
所述光路结构包括光源设备和对应光源设备的反射参考镜;光源设备与反射参考镜之间依次设置有分光棱镜、第一准直镜和透射参考镜;所述分光棱镜上另一侧位置对应相机,且相机的镜头与分光棱镜之间设置有第二准直镜。
2.根据权利要求1所述的一种测量液晶透过波前的干涉仪,其特征在于:所述光源设备包括圆偏振光输出的激光器、设置在激光器和分光棱镜之间的旋转偏振片、聚光镜;激光器发射出来的激光经过旋转偏振片和聚光镜后照射到分光棱镜上。
3.根据权利要求2所述的一种测量液晶透过波前的干涉仪,其特征在于:所述分光棱镜使用的是非偏振分光棱镜。
4.根据权利要求3所述的一种测量液晶透过波前的干涉仪,其特征在于:所述激光照射到液晶板上后会分解为o光和e光;o光方向与旋转偏振片的偏振方向一致。
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