[发明专利]一种测量液晶透过波前的干涉仪在审

专利信息
申请号: 202010864875.1 申请日: 2020-08-25
公开(公告)号: CN111854984A 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 祝沛 申请(专利权)人: 上海乾曜光学科技有限公司
主分类号: G01J9/02 分类号: G01J9/02;G01J9/00;G01M11/02
代理公司: 上海助之鑫知识产权代理有限公司 31328 代理人: 王风平
地址: 201800 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 测量 液晶 透过 干涉仪
【说明书】:

发明公开了一种测量液晶透过波前的干涉仪,包括基座和安装在基座上的工控机;所述基座上设置有光路结构;所述基座上安装有相机,相机连接工控机;所述光路结构包括光源设备和对应光源设备的反射参考镜;光源设备与反射参考镜之间依次设置有分光棱镜、第一准直镜和透射参考镜;所述分光棱镜上另一侧位置对应相机,且相机的镜头与分光棱镜之间设置有第二准直镜。本发明是一种基于激光的干涉仪,采用线偏振光输出,且偏振方向与液晶盲孔或液晶面板的双折射O光方向一致,实现液晶盲孔或液晶面板的透过波前测量的正确。

技术领域

本发明涉及干涉仪领域,具体而言,涉及一种测量液晶透过波前的干涉仪。

背景技术

手机摄像孔的材质是光学玻璃,其透过波前的测量,采用传统的激光干涉仪即可满足。随着全面屏技术的发展,手机前置摄像孔开始采用液晶盲孔方案,而液晶具备双折射特性,传统的激光干涉仪不再能够准确测量液晶孔透过波前。

传统激光干涉仪是圆偏振输出,光束穿过待测液晶时,会分解为o光和e光,两种光束回到干涉仪的采集相机后,会形成两套干涉条纹。两套干涉条纹叠加在一起,且存在一定的错位量,最终形成一套存在阴影干扰的条纹图。由这样的条纹图得到的解析结果,与液晶的透过波前实际数值有很大偏离。图1是传统结构的激光干涉仪测试光路图,激光器1发出的光线经过聚光镜2后进入到偏振分光棱镜3中,然后依次经过1/4波片4、准直镜5、透视参考镜6后照射到待测液晶板7上。光线穿过待测液晶板7后照射到发射参考镜8上,按照原路返回到偏振分光棱镜3上,再从另一个角度的准直镜10进入到相机8中,实现成像检测。

上述方法的缺陷是:激光器输出的是圆偏振光,光束穿过液晶板后,最终得到的图像是o光、e光两套干涉条纹的叠加,此时解析得到的结果是不正确的。

此外,已有的干涉仪结构中,也存在线偏振光输出的类型,图2为一种线偏振光输出的干涉仪的测试光路图,直接采用线偏振激光器11发出光线,光线经过聚光镜12后进入到非偏振分光棱镜13中,然后依次经过准直镜14、透视参考镜15后照射到待测液晶板16上。光线穿过待测液晶板16后照射到发射参考镜17上,按照原路返回到偏振分光棱镜13上,再从另一个角度的准直镜19进入到相机18中,实现成像检测。

直接采用线偏振激光器,仪器输出线偏振光。但偏振方向是随机的,与待测液晶的O光方向并不一致,且角度是随机的。当偏振方向与液晶e光方向刚好一致时,得到的是错误的干涉条纹;当偏振方向与o光、e光方向均不重合时,会在两个方向得到相应的光束分量,最终的成像效果与圆偏振光输出的干涉仪相同。

上述方法的缺陷是:虽然输出的是线偏振光,但偏振方向是随机的。当偏振方向与液晶e光方向重合时,得到的干涉条纹是错误的;当偏振方向与o光、e光均不重合时,得到的图像依然是两套干涉条纹的叠加,此时的解析结果也是不正确的。

鉴于此,开发一种测量液晶透过波前的干涉仪,采用圆偏振激光器加可调旋转偏振片的结构,射出的激光偏振方向与待测液晶板的o光方向一致,即可进行正确测试,保证测试结果的正确,成为本领域技术人员亟待解决的问题。

发明内容

本发明针对现有技术的缺点,提供了一种测量液晶透过波前的干涉仪,解决了上述技术的缺陷。

为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:

一种测量液晶透过波前的干涉仪,与待测的液晶板相对应,包括基座和安装在基座上的工控机;其特征在于:所述基座上设置有光路结构;所述基座上安装有相机,相机连接工控机;所述光路结构包括光源设备和对应光源设备的反射参考镜;光源设备与反射参考镜之间依次设置有分光棱镜、第一准直镜和透射参考镜;所述分光棱镜上另一侧位置对应相机,且相机的镜头与分光棱镜之间设置有第二准直镜。

优化的方案,所述光源设备包括圆偏振光输出的激光器、设置在激光器和分光棱镜之间的旋转偏振片、聚光镜;激光器发射出来的激光经过旋转偏振片和聚光镜后照射到分光棱镜上。

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