[发明专利]线圈部件及其制造方法

权利要求书

1.一种线圈部件，其包括包含软磁性合金颗粒的磁性体和配置于该磁性体的内部或者表面的导体，该线圈部件的特征在于：

所述磁性体中，

作为软磁性合金颗粒，包括：第1颗粒，其合金成分实质上由Fe、Si和Cr构成；和第2颗粒，作为其合金成分含有Fe和Si以及比Fe更容易氧化的Si和Cr以外的元素，

所述第2颗粒的平均粒径比所述第1颗粒的平均粒径小，

所述第1颗粒在其表面具有含有Si和Cr的非晶质氧化物膜，

所述第2颗粒在其表面具有含有所述比Fe更容易氧化的Si和Cr以外的元素的结晶质氧化物的层，并且，

所述结晶质氧化物形成延伸至多个所述第1颗粒之间的接合部。

2.如权利要求1所述的线圈部件，其特征在于：

所述软磁性合金颗粒中的Fe的质量比例为30～98％。

3.如权利要求1或2所述的线圈部件，其特征在于：

所述结晶质氧化物为单晶。

4.如权利要求1～3中任一项所述的线圈部件，其特征在于：

所述比Fe更容易氧化的Si和Cr以外的元素为Al或者Mn。

5.如权利要求1～4中任一项所述的线圈部件，其特征在于：

所述接合部填塞了所述软磁性合金颗粒间的空隙。

6.一种线圈部件的制造方法，所述线圈部件包括包含软磁性合金颗粒的磁性体和配置于该磁性体的内部或者表面的导体，所述线圈部件的制造方法的特征在于，包括：

(a)作为软磁性合金粉末准备第1粉末和第2粉末的步骤，其中所述第1粉末的合金成分实质上由Fe、Si和Cr构成，所述第2粉末作为其合金成分含有Fe和Si以及比Fe更容易氧化的Si和Cr以外的元素，并且与所述第1粉末相比平均粒径小；

(d)将所述第1粉末和所述第2粉末混合以得到混合粉末的步骤；

(e)将通过所述(d)得到的混合粉末成形以得到成形体的步骤；

(f)将通过所述(e)得到的成形体在氧浓度为10ppm～800ppm以下的气氛中、500℃～900℃的温度下进行热处理以得到磁性体的步骤；和

(g)进行下述(1)和(2)的至少一者的步骤：(1)在所述(e)中，在所述成形体的内部或者表面配置导体或者其前体；(2)在进行了所述(f)之后，在所述磁性体的表面配置导体。

7.如权利要求6所述的线圈部件的制造方法，其特征在于：

在所述(d)之前，还进行：

(b)在构成所述第1粉末的各颗粒的表面附着含Si物质的步骤。

8.如权利要求7所述的线圈部件的制造方法，其特征在于：

对进行了所述(b)的处理的第1粉末，还进行：

(c1)在非活性气体气氛中100℃～700℃的温度下、或者在氧浓度为100ppm以下的气氛中100℃～300℃的温度下，进行热处理的步骤。

9.如权利要求7所述的线圈部件的制造方法，其特征在于：

对进行了所述(b)的处理的第1粉末，还进行：

(c2)在氧浓度为3ppm～100ppm的气氛中300℃～900℃的温度下进行热处理的步骤。

10.如权利要求6所述的线圈部件的制造方法，其特征在于：

在所述(d)之前，还进行：

(c2)将在所述(a)中准备的第1粉末在氧浓度为3ppm～100ppm的气氛中300℃～900℃的温度下进行热处理的步骤。

11.一种电路板，其特征在于：

搭载有权利要求1～5中任一项所述的线圈部件。