[发明专利]一种CF返工液在审
| 申请号： | 202010875705.3 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN112114502A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 何珂;戈士勇;汤晓春 | 申请（专利权）人： | 江苏中德电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/00;G02F1/1335 |
| 代理公司： | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 林友琴 |
| 地址： | 214400 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 cf 返工 | ||
1.一种CF返工液，其特征在于：其组分及其重量百分数为：5-15％的无机强碱、1-2％的聚醚类非离子表面活性剂、10-20％的水溶性有机溶剂、2-5％的羧酸酯水解酶EC3.1.1.1、0.1-1％的水溶性离子溶液，余量为高纯水。
2.根据权利要求1所述的CF返工液，其特征在于：所述羧酸酯水解酶EC3.1.1.1为猪肝酯酶EC3.1.1.1。
3.根据权利要求1或2所述的CF返工液，其特征在于：所述水溶性离子溶液为[Hbim][BF4]。
4.根据权利要求3所述的CF返工液，其特征在于：所述水溶性有机溶剂为有机胺类有机溶剂和水溶性醇醚类溶剂的混合物。
5.根据权利要求4所述的CF返工液，其特征在于：所述CF返工液中，所述有机胺类有机溶剂的重量百分数为5－10％，所述水溶性醇醚类溶剂的重量百分数为5－10％。
6.根据权利要求5所述的CF返工液，其特征在于：所述有机胺类有机溶剂为单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、氮甲基甲酰胺、N、N－二甲基甲酰胺和氮甲基吡咯烷酮中一种或多种。
7.根据权利要求5所述的CF返工液，其特征在于：所述水溶性醇醚类溶剂为二乙二醇单丁基醚、二乙二醇单甲醚中的一种或多种。
8.根据权利要求3所述的CF返工液，其特征在于：所述聚醚类非离子表面活性剂为链状脂肪醇聚醚类非离子表面活性剂。
9.根据权利要求8所述的CF返工液，其特征在于：所述聚醚类非离子表面活性剂为JFC非离子表面活性剂。
10.根据权利要求3所述的CF返工液，其特征在于：所述无机强碱为氢氧化钾或氢氧化钠中的一种或多种。
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