[发明专利]一种CF返工液在审

专利信息
申请号: 202010875705.3 申请日: 2020-08-27
公开(公告)号: CN112114502A 公开(公告)日: 2020-12-22
发明(设计)人: 何珂;戈士勇;汤晓春 申请(专利权)人: 江苏中德电子材料科技有限公司
主分类号: G03F7/42 分类号: G03F7/42;G03F7/00;G02F1/1335
代理公司: 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 代理人: 林友琴
地址: 214400 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 cf 返工
【说明书】:

本发明涉及一种CF返工液,其组分及其重量百分数为:5‑15%的无机强碱、1‑2%的聚醚类非离子表面活性剂、10‑20%的水溶性有机溶剂、2‑5%的羧酸酯水解酶EC3.1.1.1、0.1‑1%的水溶性离子溶液,余量为高纯水。本发明通过在CF返工液中添加了羧酸酯水解酶EC3.1.1.1和水溶性离子溶液,克服了CF返工液在较低温度下的剥离效果不佳的缺点,可以降低客户端使用温度,减少了药液的挥发,保证了药效,对基板损伤小。

技术领域

本发明涉及一种显示面板领域用化学品制剂领域,具体涉及一种液晶显示的彩色滤光片制程中回收再利用彩色滤光片所需的返工液。

背景技术

彩色滤光片(CF)是LCD实现彩色显示的关键零部件,其基本结构包括玻璃基板、BM(黑矩阵)、彩色光阻、保护层(OC)、ITO、垫片。在CF制程中,不免产生不良CF基板。对于存在缺陷的CF需要利用返工液进行返工,用于去除用于去除不良CF基板上的彩色光刻胶以及OC胶保护层,使之能够作为黑膜或玻璃基板回收使用,以减少经济损失。但不良基板上的彩色光刻胶一经硬化难以去除,特别是与正型光刻胶相比,彩色光刻胶为负型光刻胶,更加难以剥离,往往需要具有更强的剥离性能的无机类剥离液和等离子体的活性离子蚀刻方法来去除彩色光刻胶。现有的无机类剥离液主要是强酸类与过氧化氢的混合物,需要高温,而且非常不稳定,有火灾和爆炸的风险。另外等离子体存在设备昂贵,条件难以控制,难以适用于大面积的CF。

公开号为CN104155854A的中国专利公开了一种低温光刻胶重工剥离液,其含有无机类强碱化合物10-40、表面活性剂0.1-20%,渗透剂0.5-10%、水溶性有机溶剂10-60%以及水,其中表面活性剂为烷基糖苷类、脂肪醇OE-OP前段共聚物、氨基OE-OP嵌段共聚物中的一种或多种的组合,水溶性有机溶剂为选自水溶性醇醚类溶剂和酰胺类溶剂中的一种或多种的组合,渗透剂为选自渗透剂JFC、快速渗透剂T、渗透剂OT、耐碱渗透剂OEP、耐碱渗透剂AEP中的一种或多种的组合。该低温光刻胶重工剥离液在温度50-60℃需要剥离完全需要1-3分钟;在较低温度时剥离效果不佳,或需要的剥离时间需要加长。如果采用较高的剥离温度,虽然剥离效果更佳,但高温影响药液的挥发,进而还影响药液的寿命,同时增加客户端的能耗,对玻璃基板的损伤也会增加。

因此有必要开发一种在低温下对不良CF基板具有良好剥离效果、返工过程对玻璃基板损伤小的CF返工液。

发明内容

本发明的目的,在于解决上述技术问题,提供一种在低温下对不良CF基板具有良好剥离效果、返工过程对玻璃基板损伤小的CF返工液。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的:一种CF返工液,其组分及其重量百分数为:5-15%的无机强碱、1-2%的聚醚类非离子表面活性剂、10-20%的水溶性有机溶剂、2-5%的羧酸酯水解酶(EC3.1.1.1)、0.1-1%的水溶性离子溶液,余量为高纯水。

这里,通过在CF返工液中添加了羧酸酯水解酶,羧酸酯水解酶可以催化促进负性光刻胶固化后的丙烯酸树脂局部发生水解,局部水解得到少量的丙烯酸基团具有良好吸水性,形成溶剂的渗透点,可以有效地增强固化树脂的溶胀作用,使得固化树脂的溶胀不用在很高的温度下进行,可以降低客户端使用温度,减少了药液的挥发,保证了药效;与此同时,在剥离过程中,局部的玻璃基板因发生部分光刻胶先溶胀而发生裸露,添加的水溶性离子溶液可以在玻璃基板表面形成一层保护膜,从而起到减少返工液对玻璃基板损伤的作用。

优选地,所述羧酸酯水解酶(EC3.1.1.1)为猪肝酯酶(EC3.1.1.1)。猪肝酯酶(EC3.1.1.1)对丙烯酸酯类有良好催化作用,可以在固化的丙烯酸树脂表面及内部形成吸水溶胀点,促进溶剂在光刻胶内的扩散和渗透,进而促进光刻胶与玻璃基板的剥离。

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