[发明专利]一种全新靶材冷却系统在审

专利信息
申请号: 202010876874.9 申请日: 2020-08-27
公开(公告)号: CN111879058A 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: 时昌茹 申请(专利权)人: 深圳市绿谷离子镀膜科技有限公司
主分类号: F25D31/00 分类号: F25D31/00;F25D17/02
代理公司: 宁波高新区核心力专利代理事务所(普通合伙) 33273 代理人: 涂萧恺
地址: 518000 广东省深圳市南山区粤海*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 全新 冷却系统
【权利要求书】:

1.一种全新靶材冷却系统,其特征在于:包括靶面连接块(1)、进出水管道(2)以及进出水装置(3);所述进出水管道(2)一端与所述靶面连接块(1)连接,所述进出水管道(2)另一端与所述进出水装置(3)连接;冷却液进入所述进出水装置(3)并通过所述进出水管道(2)进入到所述靶面连接块(1)中,所述冷却液与所述靶面连接块(1)换热之后再通过所述进出水管道(2)从所述进出水装置(3)离开。

2.根据权利要求1所述的全新靶材冷却系统,其特征在于:所述进出水管道(2)设有内管(21)和外管(22),所述内管(21)位于所述外管(22)内,所述内管(21)中设有内管进水通道(24),所述内管进水通道(24)一端通过进液口(23)与外界相通,所述内管进水通道(24)另一端与所述靶面连接块(1)相通;所述内管(21)与所述外管(22)之间为外管出水通道(26),所述外管出水通道(26)一端通过出液口(27)与外界相通,所述外管出水通道(26)另一端与所述靶面连接块(1)相通,所述出液口(27)位于所述进液口(23)上方确保所述出液口(27)具有足够的液压。

3.根据权利要4所述的全新靶材冷却系统,其特征在于:所述进液口(23)为多个并且位于所述内管进水通道(24)同一截面上;所述出液口(27)多个并且位于所述外管出水通道(26)同一截面上。

4.根据权利要3所述的全新靶材冷却系统,其特征在于:所述进液口(23)为四个,所述出液口(27)也为四个,保证进出水量足够带走热量。

5.根据权利要求4所述的全新靶材冷却系统,其特征在于:所述靶面连接块(1)设有换热腔(13),所述内管(21)位于所述换热腔(13)的另一端长于所述外管(22)位于所述换热腔(13)的另一端。

6.根据权利要求5所述的全新靶材冷却系统,其特征在于:所述内管(21)上设有法兰(12),所述法兰(12)与所述换热腔(13)的开口相互配合并且通过第一密封圈(11)实现所述靶面连接块(1)和所述进出水管道(2)密封连接。

7.根据权利要求1-6中任何一项所述的全新靶材冷却系统,其特征在于:所述进出水装置(3)包括出液端口(31)和进液端口(32),所述出液端口(31)的开口大于与所述出液口(27)的开口,所述进液端口(32)的开口大于所述进液口(23)的开口。

8.根据权利要7所述的全新靶材冷却系统,其特征在于:所述进出水装置(3)包括一个两端开口的空腔,两端开口分别设有第一油封密封圈(33)和第二油封密封圈(35)将所述进出水管道(2)密封在其中,所述进出水管道(2)的所述出液口(27)和所述进液口(23)位于所述第一油封密封圈(33)和所述第二油封密封圈(35)之间。

9.根据权利要8所述的全新靶材冷却系统,其特征在于:所述进出水管道(2)与所述进出水装置(3)的空腔通过第二密封圈(34)进行密封。

10.根据权利要9所述的全新靶材冷却系统,其特征在于:所述出液端口(31)和所述进液端口(32)之间管道上设有冷却液存储装置。

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