[发明专利]一种全新靶材冷却系统

说明书

本发明涉及一种全新靶材冷却系统，包括靶面连接块（1）、进出水管道（2）以及进出水装置（3）；所述进出水管道（2）一端与所述靶面连接块（1）连接，所述进出水管道（2）另一端与所述进出水装置（3）连接；冷却液进入所述进出水装置（3）并通过所述进出水管道（2）进入到所述靶面连接块（1）中，所述冷却液与所述靶面连接块（1）换热之后再通过所述进出水管道（2）从所述进出水装置（3）离开。本发明在特定工作环境中可以冷却靶面，冷却效果好，利用率高，能有效的对靶面进行降温而且可以重复利用，并且结构较为简单。

技术领域

本发明涉及一种冷却系统，尤其是涉及一种靶材的冷却系统。

背景技术

水冷散热系统利用泵使散热管中的冷却液循环并进行散热。在散热器上的吸热部分（在液冷系统中称之为吸热盒）用于从发热件上吸收热量。吸热部分吸收的热量通过设计的散热器排到设备外面。

在离子发生过程中，靶材通常发热，靶材与靶面连接，因此靶面上方工作区域温度较高，故需要为靶面进行降温。现有技术中还没有使用此类型水冷散热装置对靶材进行快速换热的结构。

发明内容

本发明设计了一种全新靶材冷却系统，其解决的技术问题是因靶面上方工作区域温度较高，故需要为靶面进行降温。

为了解决上述存在的技术问题，本发明采用了以下方案：

一种全新靶材冷却系统，包括靶面连接块（1）、进出水管道（2）以及进出水装置（3）；所述进出水管道（2）一端与所述靶面连接块（1）连接，所述进出水管道（2）另一端与所述进出水装置（3）连接；冷却液进入所述进出水装置（3）并通过所述进出水管道（2）进入到所述靶面连接块（1）中，所述冷却液与所述靶面连接块（1）换热之后再通过所述进出水管道（2）从所述进出水装置（3）离开。

优选地，所述进出水管道（2）设有内管（21）和外管（22），所述内管（21）位于所述外管（22）内，所述内管（21）中设有内管进水通道（24），所述内管进水通道（24）一端通过进液口（23）与外界相通，所述内管进水通道（24）另一端与所述靶面连接块（1）相通；所述内管（21）与所述外管（22）之间为外管出水通道（26），所述外管出水通道（26）一端通过出液口（27）与外界相通，所述外管出水通道（26）另一端与所述靶面连接块（1）相通，所述出液口（27）位于所述进液口（23）上方确保所述出液口（27）具有足够的液压。

优选地，所述进液口（23）为多个并且位于所述内管进水通道（24）同一截面上；所述出液口（27）多个并且位于所述外管出水通道（26）同一截面上。

优选地，所述进液口（23）为四个，所述出液口（27）也为四个，保证进出水量足够带走热量。

优选地，所述靶面连接块（1）设有换热腔（13），所述内管（21）位于所述换热腔（13）的另一端长于所述外管（22）位于所述换热腔（13）的另一端。

优选地，所述内管（21）上设有法兰（12），所述法兰（12）与所述换热腔（13）的开口相互配合并且通过第一密封圈（11）实现所述靶面连接块（1）和所述进出水管道（2）密封连接。

优选地，所述进出水装置（3）包括出液端口（31）和进液端口（32），所述出液端口（31）的开口大于与所述出液口（27）的开口，所述进液端口（32）的开口大于所述进液口（23）的开口。

优选地，所述进出水装置（3）包括一个两端开口的空腔，两端开口分别设有第一油封密封圈（33）和第二油封密封圈（35）将所述进出水管道（2）密封在其中，所述进出水管道（2）的所述出液口（27）和所述进液口（23）位于所述第一油封密封圈（33）和所述第二油封密封圈（35）之间。

优选地，所述进出水管道（2）与所述进出水装置（3）的空腔通过第二密封圈（34）进行密封。