[发明专利]一种刻蚀出料翻片装置在审
申请号: | 202010878218.2 | 申请日: | 2020-08-27 |
公开(公告)号: | CN111916382A | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 于彬;李昂;唐光明 | 申请(专利权)人: | 常州科瑞尔科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683;H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 南通毅帆知识产权代理事务所(普通合伙) 32386 | 代理人: | 刘纪红 |
地址: | 213000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 刻蚀 出料翻片 装置 | ||
1.一种刻蚀出料翻片装置,其特征在于:包括机架(1)、传送单元(2)、翻转单元(3)、滑片接收盒(4)、从动带轮(5)、传动轴(6)、同步齿形带(7)、电机安装座(8)、主动带轮(9)和驱动电机(10),所述的电机安装座(8)固定安装在机架(1)内,所述的驱动电机(10)安装在电机安装座(8)上,所述的主动带轮(9)固定安装在驱动电机(10)输出轴上,所述的机架(1)顶面沿左右方向等间距安装有若干个传送单元(2)且每个传送单元(2)前侧都安装有翻转单元(3),所述的翻转单元(3)安装在机架(1)顶面上,所述的滑片接收盒(4)固定安装在机架(1)顶面上且滑片接收盒(4)位于翻转单元(3)的前侧,所述的传动轴(6)安装在传送单元(2)上,所述的从动带轮(5)固定安装在传动轴(6)右端,所述的同步齿形带(7)安装在从动带轮(5)和主动带轮(9)上。
2.根据权利要求1所述的一种刻蚀出料翻片装置,其特征在于:所述的传送单元(2)由基座(201)、前托板(202)、前惰轮(203)、前传送带(204)、后传送带(205)、后托板(206)、后驱动轮(207)、轴承座(208)、前驱动轮(209)和后惰轮(210)组成,所述的基座(201)固定安装在机架(1)顶面上,所述的前驱动轮(209)固定安装在传动轴(6)上且前驱动轮(209)位于基座(201)前侧,所述的基座(201)前侧面上安装有若干个前惰轮(203),所述的前传送带(204)依次安装在前惰轮(203)和前驱动轮(209)上,所述的前托板(202)固定安装在基座(201)前侧面上,所述的轴承座(208)固定安装在基座(201)上且传动轴(6)通过轴承安装在轴承座(208)上,所述的后驱动轮(207)固定安装在传动轴(6)上且后驱动轮(207)位于基座(201)后侧,所述的基座(201)后侧面上安装有若干个后惰轮(210),所述的后传送带(205)依次安装在后驱动轮(207)和后惰轮(210)上,所述的后托板(206)固定安装在基座(201)后侧面上。
3.根据权利要求1所述的一种刻蚀出料翻片装置,其特征在于:所述的翻转单元(3)由吸盘固定臂(301)、方形吸盘(302)、减速器支架(303)、固定板(304)、伺服电机(305)、减速器(306)、感应支架(307)、接近开关(308)和传感器安装架(309)组成,所述的减速器支架(303)固定安装在固定板(304)上,所述的固定板(304)固定安装在机架(1)顶面上,所述的伺服电机(305)安装在减速器(306)上,所述的减速器(306)安装在减速器支架(303)上,所述的吸盘固定臂(301)和感应支架(307)都固定安装在减速器(306)输出轴上,所述的方形吸盘(302)固定安装在吸盘固定臂(301),所述的传感器安装架(309)固定安装在减速器支架(303)上,所述的接近开关(308)固定安装在传感器安装架(309)上。
4.根据权利要求1所述的一种刻蚀出料翻片装置,其特征在于:所述的传送单元(2)中的基座(201)左右对称面与翻转单元(3)中的方形吸盘(302)左右对称面重合。
5.根据权利要求1所述的一种刻蚀出料翻片装置,其特征在于:所述的翻转单元(3)中的吸盘固定臂(301)设有进气孔和排气孔且进气孔和排气孔上都安装有快速接头。
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