[发明专利]一种刻蚀出料翻片装置在审
申请号: | 202010878218.2 | 申请日: | 2020-08-27 |
公开(公告)号: | CN111916382A | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 于彬;李昂;唐光明 | 申请(专利权)人: | 常州科瑞尔科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683;H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 南通毅帆知识产权代理事务所(普通合伙) 32386 | 代理人: | 刘纪红 |
地址: | 213000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 刻蚀 出料翻片 装置 | ||
本发明公开了一种刻蚀出料翻片装置,其特征在于:所述的电机安装座安装在机架内,驱动电机安装在电机安装座上,主动带轮安装在驱动电机输出轴上,机架顶面沿左右方向等间距安装有若干个传送单元且每个传送单元前侧都安装有翻转单元,滑片接收盒安装在机架顶面上且滑片接收盒位于翻转单元的前侧,从动带轮安装在传动轴右端,同步齿形带安装在从动带轮和主动带轮上。本发明结构简单,采用方型伯努利吸盘,确保吸力的同时,减少了吸盘的体积,安装有滑片接收装置,设备发生故障时,刻蚀设备内流出的硅片不会堵塞在设备内,皮带采用特殊的方式缠绕,避开了中间传送轴,更换皮带时,不需要拆传送传动轴,大大减少了设备维修时间。
技术领域
本发明属于太阳能电池片加工设备技术领域,具体涉及一种刻蚀出料翻片装置。
背景技术
太阳能电池片生产的背面湿法刻蚀工艺,会对电池片背面也进行化学抛光,背面接触传送皮带后,会对硅片造成一定程度的损伤,导致后续产品的不良。为避免这种情况,需对电池片进行翻面,使硅片正片接触传送带。
现有的翻片机构一般为叶轮式翻片机构,由伺服电机带动叶轮翻转一定角度,直至完全翻转180°,与皮带接触后,传送至后面的传送带。这种方式无法完全避免硅片背面的损伤,叶轮会与硅片背面相对滑动,导致硅片背面产生划痕。一个伺服电机带动4个或5个叶轮,机械机构复杂,联轴器及电机等机械部件易发生故障,一旦损坏,整台设备即停止运行,产能损失大。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足提供一种刻蚀出料翻片装置,其结构简单,工作稳定可靠,采用方型伯努利吸盘,确保吸力的同时,减少了吸盘的体积,安装有滑片接收装置,设备发生故障时,刻蚀设备内流出的硅片不会堵塞在设备内,避开了中间传送轴,更换皮带时,不需要拆传送传动轴,大大减少了设备维修时间。
为实现上述技术目的,本发明采取的技术方案为:
一种刻蚀出料翻片装置,其特征在于:包括机架、传送单元、翻转单元、滑片接收盒、从动带轮、传动轴、同步齿形带、电机安装座、主动带轮和驱动电机,所述的电机安装座固定安装在机架内,所述的驱动电机安装在电机安装座上,所述的主动带轮固定安装在驱动电机输出轴上,所述的机架顶面沿左右方向等间距安装有若干个传送单元且每个传送单元后侧都安装有翻转单元,所述的翻转单元安装在机架顶面上,所述的滑片接收盒固定安装在机架顶面上且滑片接收盒位于翻转单元的前侧,所述的传动轴安装在传送单元上,所述的从动带轮固定安装在传动轴右端,所述的同步齿形带安装在从动带轮和主动带轮上。
上述的传送单元由基座、前托板、前惰轮、前传送带、后传送带、后托板、后驱动轮、轴承座、前驱动轮和后惰轮组成,所述的基座固定安装在机架顶面上,所述的前驱动轮固定安装在传动轴上且前驱动轮位于基座前侧,所述的基座前侧面上安装有若干个前惰轮,所述的前传送带依次安装在前惰轮和前驱动轮上,所述的前托板固定安装在基座前侧面上,所述的轴承座固定安装在基座上且传动轴通过轴承安装在轴承座上,所述的后驱动轮固定安装在传动轴上且后驱动轮位于基座后侧,所述的基座后侧面上安装有若干个后惰轮,所述的后传送带依次安装在后驱动轮和后惰轮上,所述的后托板固定安装在基座后侧面上。
上述的翻转单元由吸盘固定臂、方形吸盘、减速器支架、固定板、伺服电机、减速器、感应支架、接近开关和传感器安装架组成,所述的减速器支架固定安装在固定板上,所述的固定板固定安装在机架顶面上,所述的伺服电机安装在减速器上,所述的减速器安装在减速器支架上,所述的吸盘固定臂和感应支架都固定安装在减速器输出轴上,所述的方形吸盘固定安装在吸盘固定臂,所述的传感器安装架固定安装在减速器支架上,所述的接近开关固定安装在传感器安装架上。
上述的传送单元中的基座左右对称面与翻转单元中的方形吸盘左右对称面重合。
上述的翻转单元中的吸盘固定臂设有进气孔和排气孔且进气孔和排气孔上都安装有快速接头。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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