[发明专利]一种高抗弯折性ITO透明导电膜在审
申请号: | 202010878762.7 | 申请日: | 2020-08-27 |
公开(公告)号: | CN111933330A | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
发明(设计)人: | 吕敬波;陈超;于佩强;高毓康;胡业新 | 申请(专利权)人: | 江苏日久光电股份有限公司 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14 |
代理公司: | 苏州科仁专利代理事务所(特殊普通合伙) 32301 | 代理人: | 郭杨 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高抗弯折性 ito 透明 导电 | ||
本发明公开了一种高抗弯折性ITO透明导电膜,包括基材层,所述基材层的一面由内向外依次涂布有第一底涂层、真空磁控溅射镀有氧化铟锡层,其中所述第一底涂层为丙烯酸树脂层、聚氨酯树脂层、或者有机硅树脂层,厚度为10~50nm,折射率为1.48~1.59;所述氧化铟锡层镀附于第一底涂层表面,厚度15~50nm,铟锡比90:10‑93:7,结晶后电阻25~170欧姆。本案通过在基材层涂布第一底涂层后,再溅射氧化铟锡层,这样能增加整体ITO导电膜的弹性和韧性,使ITO导电膜具有更好的抗弯折性,加工阶段经弯折后,表面也不会龟裂,从而确保ITO的面电阻稳定性,并且本发明在真空环境下进行镀膜制成,从而能够在氧化铟锡层与第一底涂层之间省去涂布加硬层,节约成本。
技术领域
本发明涉及导电膜领域,尤其涉及一种高抗弯折性ITO透明导电膜。
背景技术
近年来,随着半导体制造技术及光伏技术突飞猛进的发展,诸如平面显示器、触控屏、窗膜、聚合物分散液晶、太阳能电池等技术迅速发展和完善,这些新技术都需要用到透明导电膜作为电极、受光面或者电磁脉冲屏蔽膜。以触控屏为例,触控屏中常用的几种类型如电阻式触控屏、表面电容式触控屏、感应电容式触控屏都需要利用透明导电膜作为电极材料。
透明导电膜公认的定义为在可见光范围为透明的,并且具有较低的电阻率。目前常用的透明导电膜有ITO膜、AZO膜以及氧化铝等。
在常规的透明导电膜里,ITO(氧化铟锡混合物)膜是最常用,也是性能最好的一种。ITO是一种氧化锡与三氧化二铟的混合物,不仅导电性和透明性优于其他诸如:AZO(掺铝氧化锌)、三氧化二铝等材料,而且具有其他透明导电膜所不具备的高硬度与高化学稳定性,所以,目前在大规模生产中,大多选用ITO作为透明导电膜的材料。在膜层设计中,要得到更好的透过率,空气、薄膜、基底的折射率必须进行良好的匹配,对单层单一折射率镀膜而言,如果镀膜折射率的平方等于空气折射率乘以基底折射率,那么理论上镀膜的反射率将会降至最低。
但现有的ITO膜抗弯折性差,在ITO膜后加工阶段容易产生细裂纹,造成面电阻不稳定,随着时间过程面电阻变高,触摸屏产品灵敏度下降,甚至于完全不能触摸。
发明内容
本发明目的是:提供一种高抗弯折性ITO透明导电膜,其整体具有更好的抗弯折性,加工阶段经弯折后,表面也不会龟裂,从而确保ITO的面电阻稳定性,并提高由其加工获得的触摸屏类产品的质量。
本发明的技术方案是这样实现的:一种高抗弯折性ITO透明导电膜,包括基材层,所述基材层的一面由内向外依次涂布有第一底涂层、真空磁控溅射镀有氧化铟锡层,其中所述第一底涂层为丙烯酸树脂层、聚氨酯树脂层或者有机硅树脂层厚度为10~50nm,折射率为1.48~1.7;
所述氧化铟锡层镀附于第一底涂层表面,厚度15~50nm,铟锡比90:10-93:7,结晶后电阻25~170欧姆。
在某些实施方式中,所述第一底涂层为丙烯酸树脂层,厚度为30nm,折射率为1.50。
在某些实施方式中,所述氧化铟锡层的厚度为18nm,铟锡比93:7。
在某些实施方式中,所述基材层的另一面上涂布有第二底涂层,而在第二底涂层上涂布有加硬层,
其中所述第二底涂层为丙烯酸树脂层、聚氨酯树脂层或者有机硅树脂层,厚度为30~200nm,折射率为1.55~1.59;
所述加硬层为丙烯酸树脂层,厚度为0.3~3μm,折射率1.48~1.54,硬度为铅笔硬度1H~3H。
在某些实施方式中,所述第二底涂层厚度为80nm,折射率为1.57。
在某些实施方式中,所述加硬层厚度为1μm,折射率为1.5,硬度为铅笔硬度1H。
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