[发明专利]自校准去扭斜设备

权利要求书

1.一种用于改善由用于测量被测装置(DUT)的电气参数的测试仪器(160)对第一探针(115)和第二探针(125)执行的去扭斜校准的准确度的去扭斜设备(100)，所述去扭斜设备(100)包括：

第一去扭斜探测点(110)，所述第一去扭斜探测点被配置为在与所述第一探针(115)接触时接收第一校准信号；

第二去扭斜探测点(110)，所述第二去扭斜探测点被配置为在与所述第二探针(125)接触时接收第二校准信号；以及

用于自动地自校准所述去扭斜设备(100)的反馈回路，所述反馈回路包括：

第一模数转换器(ADC)，所述第一模数转换器被配置为对所述第一去扭斜探测点(110)处的所述第一校准信号进行数字化以提供第一数字化校准信号；

第二ADC(128)，所述第二ADC被配置为对所述第二去扭斜探测点(110)处的所述第二校准信号进行数字化以提供第二数字化校准信号；和

处理单元(150)，所述处理单元被编程为使用所述第一和第二数字化校准信号来确定所述去扭斜设备(100)在所述第一去扭斜探测点与所述第二去扭斜探测点之间的固有扭斜，并且调整所述第一校准信号或所述第二校准信号中的至少一者的时序。

2.根据权利要求1所述的去扭斜设备(100)，其还包括：

至少一个信号发生电路(130)，所述信号发生电路用于生成由所述第一去扭斜探测点(110)和所述第二去扭斜探测点(110)接收的所述第一和第二校准信号。

3.根据权利要求1所述的去扭斜设备(100)，其中所述处理单元(150)还被编程为将所述确定的固有扭斜提供给所述测试仪器(160)以用于所述第一探针(115)和所述第二探针(125)的所述去扭斜校准。

4.根据权利要求1所述的去扭斜设备(100)，其还包括：

信号调节电路(140)，所述信号调节电路连接到所述第一或第二去扭斜探测点(120)中的至少一者并且被配置为响应于来自所述处理单元(150)的控制信号而调整所述第一校准信号或所述第二校准信号中的所述至少一者的所述时序。

5.根据权利要求2所述的去扭斜设备(100)，其中所述至少一个信号发生电路(130)包括第一信号发生电路(130)和第二信号发生电路(130)，并且其中所述第一校准信号由所述第一信号发生电路(130)生成，并且所述第二校准信号由所述第二信号发生电路(130)生成。

6.根据权利要求2所述的去扭斜设备(100)，其还包括：

至少一个可变增益放大器(VGA)，所述可变增益放大器连接在所述至少一个信号发生电路(130)与所述第一去扭斜探测点(110)之间并且被配置为放大所述第一校准信号或所述第二校准信号中的至少一者。

7.根据权利要求4所述的去扭斜设备(100)，其中所述信号调节电路(140)包括至少一个延迟电路，所述延迟电路被配置为延迟所述第一校准信号或所述第二校准信号中的至少一者，以响应于来自所述处理单元(150)的控制信号而调整所述第一校准信号或所述第二校准信号中的所述至少一者的所述时序。

8.根据权利要求4所述的去扭斜设备(100)，其中所述信号调节电路(140)包括以下一者或多者：

至少一个滤波器(248)，所述滤波器被配置为分别调整所述第一校准信号或所述第二校准信号中的至少一者的带宽以对应于所述第一探针(115)的第一带宽或者调整所述第二校准信号的第二带宽以对应所述第二探针(125)的第二带宽；和

至少一个上升时间转换器，所述上升时间转换器被配置为调整所述第一校准信号或所述第二校准信号中的至少一者的带宽。

9.根据权利要求5所述的去扭斜设备(100)，其还包括：

开关(271)，所述开关被配置为选择性地将所述第一信号发生电路(130)和所述第二信号发生电路(130)中的一者连接到所述第二去扭斜探测点(110)，而所述第一信号发生电路(130)保持连接到所述第一去扭斜探测点(110)。

10.根据权利要求2所述的去扭斜设备(100)，其中所述至少一个信号发生电路(130)包括至少一个任意波形发生器(AWG)。