[发明专利]掩膜版及蒸镀装置

说明书

本申请提供了一种掩膜版和蒸镀装置，该掩膜版包括：框架；多个支撑条和多个掩膜条，平行间隔设置于框架的第一表面，且相邻支撑条之间设置有一个掩膜条；其中，支撑条远离框架一侧表面的面积小于其靠近框架一侧表面的面积；掩膜条远离框架一侧表面的面积大于其靠近框架一侧表面的面积；支撑条邻近掩膜条的边缘设置有第一台阶部，第一台阶部包括与第一表面平行的第一台阶面；掩膜条邻近支撑条的边缘设置有第二台阶部，第二台阶部包括与第一表面平行的第二台阶面；第二台阶面与第一台阶面搭接，且支撑条远离框架的一侧表面高于掩膜条。通过上述方式，本申请可以使得在蒸镀对位过程中待蒸镀基板不会直接压到掩膜条。

技术领域

本申请属于显示技术领域，具体涉及一种掩膜版及蒸镀装置。

背景技术

目前OLED显示面板市场向着成熟化方向发展，各大OLED显示面板制造公司的制造良率已经成为公司竞争力的最重要因素之一。OLED显示面板的发光层在制备过程中一般会引入掩膜版来蒸镀发光物质。在蒸镀开始前，待蒸镀基板需要反复进行上升和下降过程，以使得掩膜版的掩膜条与待蒸镀基板的待蒸镀区域精确对位。

如图1所示，图1为现有技术中待蒸镀基板与掩膜版对位一实施方式的结构示意图。在对位过程中，由于待蒸镀基板30的下垂量大于掩膜版32中掩膜条320的下垂量，待蒸镀基板30在下降至与掩膜版32贴合时，待蒸镀基板30会直接压到掩膜条320。此时，待蒸镀基板上的各个显示面板300的像素定义层或间隔件(未标示)会受到较大的压应力，多次对位过程可能会使像素定义层或间隔件受到反复挤压而被损伤形成尖角，进而影响后续封装过程，严重时会造成封装失效导致产生多个暗点等情况。

发明内容

本申请提供一种掩膜版及蒸镀装置，以使得在蒸镀对位过程中待蒸镀基板不会直接压到掩膜条。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种掩膜版，包括：框架；多个支撑条和多个掩膜条，平行间隔设置于所述框架的第一表面上，且相邻所述支撑条之间设置有一个所述掩膜条；其中，所述支撑条远离所述框架一侧表面在所述第一表面上的正投影的面积小于其靠近所述框架一侧表面在所述第一表面上的正投影的面积；所述掩膜条远离所述框架一侧表面在所述第一表面上的正投影的面积大于其靠近所述框架一侧表面在所述第一表面上的正投影的面积；所述支撑条邻近所述掩膜条的边缘设置有第一台阶部，所述第一台阶部包括与所述第一表面平行的第一台阶面；所述掩膜条邻近所述支撑条的边缘设置有第二台阶部，所述第二台阶部包括与所述第一表面平行的第二台阶面；所述第二台阶面与所述第一台阶面搭接，且所述支撑条远离所述框架的一侧表面高于所述掩膜条。

其中，所述支撑条包括：第一子支撑条，设置于所述第一表面上；第二子支撑条，至少部分位于所述第一子支撑条远离所述框架一侧，且所述第二子支撑条的宽度小于所述第一子支撑条的宽度，所述第一子支撑条靠近所述第二子支撑条的表面包括所述第一台阶面。

其中，位于所述第一子支撑条远离所述框架一侧的所述第二子支撑条的部分的高度大于所述掩膜条的厚度。

其中，在所述第一子支撑条的长度方向上，所述第一子支撑条与所述框架接触的两端分别设置有至少一个开口，所述框架对应所述开口的位置设置有凸部，所述凸部的高度大于等于所述开口的深度，所述第二子支撑条与所述凸部固定连接。

其中，所述凸部的高度与所述开口的深度之间具有第一差值，所述第二子支撑条远离所述框架一侧表面与所述掩膜条远离所述框架一侧表面之间具有第二差值，所述第一差值小于所述第二差值。

其中，在所述第一子支撑条的长度方向上，所述第一子支撑条对应所述第二子支撑条的位置具有凹槽，至少部分所述第二子支撑条填充所述凹槽。

其中，所述凹槽贯通所述第一子支撑条，所述第二子支撑条在长度方向上的两端与所述框架固定。其中，所述第二子支撑条在长度方向上的两端和所述框架一体成型。